Occasion LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9172338 à vendre en France
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Vendu
ID: 9172338
Style Vintage: 1994
Etcher
With rainbow endpoint detection
Water cooled platen
Standard recipe 600/601 for Al etching:
Etch rate: 800 nm/min
Photoresist etch rate: 400 nm/min
Standard recipe 640 for Al2O3 etching:
Etch rate: 100-120 nm/min
Substrate size: 150 mm Diameter
Allowed materials: Al, Al2O3, TiO2, Poly Si, Nb
Forbidden materials: Non IC-compatible materials
Gases: Cl2, BCl3, HBr, SF6, CF4, Ar, N2, O2, He
Pressure: 0-100 mTorr
Process temperature: 55°C
Electrode power:
Top: 0-1250 W
Lower: 0-1200 W
1994 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE est un graveur ou asher hautement fiable et à haute productivité pour la fabrication de semi-conducteurs et les industries connexes. Il est conçu pour les procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), qui impliquent le dépôt de couches minces à la surface d'un substrat ou d'une plaquette semi-conductrice. LAM RESEARCH TCP 9600SE offre une gamme de caractéristiques conçues pour améliorer la vitesse de gravure globale, l'uniformité et la composition chimique du film déposé. Le design haut de gamme de la TCP 9600 SE est animé par un moteur linéaire, ce qui améliore l'uniformité des gravures avec une faible dérive et est également beaucoup plus silencieux que les conceptions classiques de moteurs brossés. Il dispose également d'un équipement de contrôle thermique avancé et d'une grande variété d'options intégrées et programmables, y compris la reconnaissance numérique des motifs (DPR), l'analyse de la température, l'analyse de l'énergie et la mesure de la puissance. Le mandrin électrostatique avancé (ESC) du système assure une excellente adhérence du substrat et un chauffage uniforme tout au long du processus. Le graveur peut être ajusté à une large gamme de tailles de substrat, de 200mm et 300mm jusqu'à 8 pouces, 10 pouces, et 12 pouces de plaquettes. Il dispose d'un gestionnaire de plaquettes intégré, de blocs chauffants réglables et de systèmes de débit de gaz. La chambre sous-uniforme motorisée de l'unité est conçue pour réduire la contamination par les particules et maintenir une vitesse de gravure uniforme optimale. TCP 9600SE est une machine fiable et conviviale. Son interface utilisateur intuitive simplifie le fonctionnement des processus CVD et contribue à réduire les temps d'arrêt. En outre, les capacités de surveillance à distance, d'enregistrement des données et de diagnostic de l'outil permettent aux utilisateurs de surveiller leurs résultats de processus et d'effectuer des ajustements à partir d'un endroit éloigné si nécessaire. LAM RESEARCH TCP 9600 SE est idéal pour les processus exigeants de gravure et de dépôt de semi-conducteurs en raison de sa conception performante, de ses capacités de diagnostic et d'enregistrement de données intégrées et de sa convivialité. Sa conception robuste garantit un fonctionnement fiable et une productivité globale maximale.
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