Occasion LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9197777 à vendre en France

LAM RESEARCH TCP 9600 SE
ID: 9197777
Etcher.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE est un graveur et asher de pointe qui offre des performances de gravure et ashing efficaces et fiables. L'équipement est conçu avec un processus automatisé hautement reproductible qui offre des résultats rapides et précis ainsi que des contrôles faciles à utiliser. LAM RESEARCH TCP 9600SE est conçu pour répondre aux exigences de débit élevé dans les environnements de production et de recherche les plus exigeants. Le système dispose d'un processus automatisé de cassette à cassette et d'une manutention efficace de la charge, permettant une production rapide et cohérente. TCP 9600 SE a une capacité de débit élevée, permettant jusqu'à 8 substrats par cassette avec une capacité maximale de 96 substrats. La faible contamination croisée de l'unité et le faible taux de dépôt du substrat offrent un processus de gravure et de cueillette très reproductible et stable. TCP 9600SE est équipé d'une chambre de processus autonome, permettant un échange facile et un nettoyage continu. La chambre de procédé est intégrée avec un processus de cuisson en une étape, minimisant les temps d'arrêt et permettant un maximum de temps et de débit. La machine dispose d'une fonctionnalité diagnostique avancée, permettant un suivi en temps réel du processus. La précision de l'outil est inégalée, offrant une répétabilité et une précision de 3 % à toutes les étapes du processus de gravure et de cueillette. Le procédé intégré protège contre les gravures indésirables, offrant un profil extrêmement élevé avec un faible dépôt de substrat. LAM RESEARCH TCP 9600 SE est capable de graver et d'aspirer une grande variété de matériaux, y compris l'ArF, l'IBE et la gravure profonde de plaquettes avec une résistivité variable. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH TCP 9600SE offre des performances exceptionnelles de gravure et d'ashing dans un environnement hautement efficace et contrôlé. Avec une plate-forme personnalisable et un processus stable, TCP 9600 SE est conçu pour répondre aux normes de productivité, de débit et de précision les plus élevées dans tout environnement de recherche ou de production.
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