Occasion LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9205199 à vendre en France

Il semble que cet article a déjà été vendu. Consultez les produits similaires ci-dessous ou contactez-nous et notre équipe expérimentée le trouvera pour vous.

ID: 9205199
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1995
Etcher, 8" Chiller: 650 x 550 x 1120  Dry pumps: 650 x 1280 x 1300 Remote power module: 700 x 640 x 1850 On-board AC Dist Type: Circuit breaker (2) On-Board RF generators: Onboard: SML-1250PBC (Sunsay) Onboard: SML-1000DSQ (Sunsay) Main process module (PM1): 9600 Wafer clamp Electrode gap: Fixed gap TCP Coil: 8” Turbo pump: BOC EDWARDS Turbo control: BOC EDWARDS (STP1000L) Gate valve: VAT 64 (Heated) Heat exchanger / Chiller: TAITEC CH-800B Gas line Gas 1 BC13 2 C12 3 N2 4 SF6 5 Ar 6 O2 7 CF4 8 O2 Dry pumps: EBARA A70W-N EBARA A80W EBARA AA40W EBARA A70W 1995 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE est un graveur et asher de pointe pour des applications de production de semi-conducteurs. Ce produit dispose d'un design efficace et intégré qui le distingue des autres processus de gravure et de cueillette. LAM RESEARCH TCP 9600SE utilise du plasma RF haute puissance et haute fréquence pour graver rapidement et enlever les matières indésirables à la surface des plaquettes semi-conductrices. Le dispositif utilise une source de plasma avancée, la conception d'électrodes de précision, et le fonctionnement multi-chambres pour fournir des performances répétables et fiables, même dans les applications difficiles. Le TCP 9600 SE a une vitesse maximale de cueillette/gravure allant jusqu'à 60 plaquettes par heure. Grâce à son temps de cycle rapide et son débit élevé, TCP 9600SE peut produire les rendements les plus élevés en production de semi-conducteurs. Sa configuration modulaire permet l'intégration flexible de composants et d'appareils supplémentaires, permettant aux utilisateurs de personnaliser l'appareil pour répondre à leurs besoins de production spécifiques. LAM RESEARCH TCP 9600 SE offre aux utilisateurs un large éventail de paramètres de processus pour obtenir des résultats cohérents. De cette façon, les fabricants peuvent attendre avec impatience une production hautement répétable et fiable de superbes plaquettes de qualité. Les utilisateurs peuvent configurer l'appareil pour graver et cendre à différentes profondeurs et avec des taux de gravure différents, leur permettant de personnaliser leur processus selon la plaquette et la couche spécifique. Toutes ces capacités sont soutenues par une conception compacte qui permet un rapport espace/performance élevé. LAM RESEARCH TCP 9600SE est le choix idéal pour la plupart des applications spatiales critiques. Il fonctionne également en toute sécurité, grâce à sa source de plasma basse pression et à sa fonction de radioprotection intégrée. Cela réduit le temps d'entretien et améliore la sécurité des travailleurs. La TCP 9600 SE impressionne par ses caractéristiques avancées, ses performances impressionnantes de gravure et d'ashing, et ses temps de cyclisme rapides pour maximiser les rendements. Avec ses résultats précis, reproductibles et très fiables, LAM RESEARCH etcher and asher est un choix parfait pour des applications complexes de production de semi-conducteurs.
Il n'y a pas encore de critiques