Occasion LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9211769 à vendre en France

LAM RESEARCH TCP 9600 SE est un équipement avancé Asher/Etcher à base de plasma conçu pour le dépôt de polymères et d'autres couches minces pour diverses applications. LAM RESEARCH TCP 9600SE est capable d'effectuer des gravures haut de gamme, des mesures de vitesse de gravure et un refoulement thermique de couches minces transférées sur des plaquettes. La technologie de base du système est la « gravure ionique réactive » (RIE), qui combine les effets physiques du bombardement ionique avec les effets chimiques du transfert d'énergie en phase gazeuse pour produire des profils de gravure hautement anisotropes. En outre, le Groupe comprend un module ULTRAWATER pour fournir de l'eau de procédé déionisée de haute pureté d'une manière fiable et répétable. TCP 9600 SE utilise les dernières technologies pour permettre une gravure précise des structures et des matériaux. Il est équipé d'une chambre de processus de haute précision avec des vecteurs de scan programmables pour un contrôle de processus supérieur. La machine dispose également d'une source de plasma haute vitesse pour les cycles de gravure rapides, d'un outil de livraison à basse vapeur pour la gravure propre, et d'un atout de livraison de gaz specializ qui isole les gaz de gravure de l'utilisateur et de l'environnement. Afin d'assurer un fonctionnement sûr et fiable, le Modèle comprend plusieurs caractéristiques de sécurité telles que la régulation automatisée de la pression, la détection des fuites air/gaz, le contrôle des gaz de purge et les systèmes de détection et de suppression des incendies et des gaz. TCP 9600SE fait partie de la prochaine génération de LAM RESEARCH Asher/Etcher Equipment, offrant des performances et une fiabilité supérieures. Le système offre aux utilisateurs une gamme d'avantages tels qu'un meilleur contrôle des processus, une uniformité supérieure et un meilleur débit. L'unité est idéale pour les applications d'emballage de niveau wafer et d'autres applications avancées de traitement IC.