Occasion LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9226415 à vendre en France

ID: 9226415
Taille de la plaquette: 8"
Metal etcher, 8" Gas box MFC Temperature controller Process kit: EPD Sensor Chuck type: Mechanical (12) Board checkers MKS: 13.32 PA P/C ESC VAT Valve SBC Board type: BOSS Video board type: Floppy disk VME Type: Hard disk controller slot WPS Sensor Slit valve: Mini controller Robot type: Cassette handler STO Elevator type: I/O Wafer sensor EPD Exhaust line RF Match: L/L Purge, L/L slow vent RF Generator type: P/C Metal etcher (8) Motor drivers CPU TAITEC CH-800B H/E Chiller Dry pump Gauge type: TC XLL Wafer sensor Monitor Gas panel TCP Top & bottom generator: ADVANCED ENERGY RFG 1250 Bias Chamber A: O2: 200 SCCM CF4: 100 SCCM O2: 2000 SCCM H2O: 500 SCCM CHF3: 20 SCCM N2: 50 SCCM CL2: 200 SCCM BCL3: 200 SCCM Turbo pump: EDWARD SCU H1000C EDWARD STP-1000 Standalone Autoloader type STP H1000 with TMP Bottom match Wafer shape: Flte No SMIF interface MF Facilities APM Chamber ELL Arm Load port GEM & SESC Interface Cassette stage XLL Arm RF Generator Chamber type: 9600 Chamber process: Metal Manometer: 0.1 mT Millipore Standard cooling water Top & bottom RF match Gate valve & Throttle valve: Pendulum valve STP H-1000L Turbo controller Standard 4-pin cylinder EPD Controller: 703/261.8 Chamber gases: Gases / MFC Size / Gas name / MFC Maker / MFC Model number Gas 1 / 300 / N2 / AERA / FC-780C Gas 2 / 200 / N2 / AERA / FC-780C Gas 3 / 50 / N2 / AERA / FC-780C Gas 6 / 3000 / N2 / AERA / FC-780C Gas 7 / 200 / N2 / AERA / FC-780C Gas 8 / 200 / N2 / AERA / FC-780C Missing parts: VDS Side covers DSQ Chamber APM Chuck motor DI Nozzle WVDS Includes: AC Rack Cable Signal cable box Power: 208V 1996 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE etcher/asher est un équipement avancé de gravure et de cendrage de plaquettes, utilisé dans le processus de fabrication de semi-conducteurs. Il offre une variété de procédés de gravure et d'ashing, allant de la gravure UV à la gravure alcaline, permettant aux utilisateurs de fabriquer une large gamme de dispositifs semi-conducteurs. Le système est conçu pour être très convivial, avec des interfaces utilisateur intuitives et des contrôles rapides pour la configuration des processus. LAM RESEARCH TCP 9600SE utilise un mandrin électrostatique tridimensionnel (ESC) pour obtenir une répartition uniforme des gaz de gravure et une uniformité de gravure sur la surface de la plaquette. Il en résulte une gravure et un cendrage très précis, garantissant que les produits sont produits avec la plus haute qualité et rendement possible. Les broches à haute résolution utilisées dans le mandrin électrostatique contribuent à assurer la répartition uniforme du gaz de gravure et la température contrôlée du substrat, nécessaire pour une gravure et un cendrage précis. TCP 9600 SE est livré avec un contrôleur intégré, qui simplifie la configuration du processus et permet aux utilisateurs de sélectionner rapidement les paramètres appropriés tels que la vitesse de gravure, le substrat, la pression de gravure et la composition du gaz de gravure. De plus, l'unité est équipée d'un moteur à grande vitesse, permettant aux utilisateurs d'obtenir une homogénéité de gravure supérieure tout en réduisant le temps de traitement. En outre, la machine dispose d'une fonction d'auto-nettoyage, qui nettoie automatiquement la plaquette pendant le processus, éliminant les particules et autres contaminants du produit. En plus de ses capacités de gravure et d'ashing efficaces, TCP 9600SE offre une gamme de fonctionnalités supplémentaires, telles qu'une conception modulaire, permettant aux utilisateurs de personnaliser leur configuration de processus selon leurs propres besoins. De plus, ses fonctions de gestion thermique améliorées permettent de s'assurer que les températures du substrat sont soigneusement surveillées et restent dans des limites de sécurité tout au long du processus. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH TCP 9600 SE est un outil de gravure et d'ashing avancé offrant une interface utilisateur intuitive, une gravure très précise et une gestion thermique améliorée. La conception modulaire et l'automatisation améliorée de l'actif permettent aux utilisateurs de personnaliser facilement le processus selon leurs propres exigences, tandis que sa rapidité et ses fonctions de nettoyage automatique permettent d'atteindre la meilleure qualité de produit possible.
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