Occasion LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9226415 à vendre en France
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ID: 9226415
Taille de la plaquette: 8"
Metal etcher, 8"
Gas box MFC
Temperature controller
Process kit: EPD Sensor
Chuck type: Mechanical
(12) Board checkers
MKS: 13.32 PA
P/C ESC
VAT Valve
SBC Board type: BOSS
Video board type: Floppy disk
VME Type: Hard disk controller slot
WPS Sensor
Slit valve: Mini controller
Robot type: Cassette handler
STO Elevator type: I/O Wafer sensor
EPD Exhaust line
RF Match: L/L Purge, L/L slow vent
RF Generator type: P/C Metal etcher
(8) Motor drivers
CPU
TAITEC CH-800B H/E Chiller
Dry pump
Gauge type: TC XLL Wafer sensor
Monitor
Gas panel
TCP
Top & bottom generator: ADVANCED ENERGY RFG 1250 Bias
Chamber A:
O2: 200 SCCM
CF4: 100 SCCM
O2: 2000 SCCM
H2O: 500 SCCM
CHF3: 20 SCCM
N2: 50 SCCM
CL2: 200 SCCM
BCL3: 200 SCCM
Turbo pump:
EDWARD SCU H1000C
EDWARD STP-1000
Standalone
Autoloader type
STP H1000 with TMP
Bottom match
Wafer shape: Flte
No SMIF interface
MF Facilities
APM Chamber
ELL Arm
Load port
GEM & SESC Interface
Cassette stage
XLL Arm
RF Generator
Chamber type: 9600
Chamber process: Metal
Manometer: 0.1 mT Millipore
Standard cooling water
Top & bottom RF match
Gate valve & Throttle valve: Pendulum valve
STP H-1000L Turbo controller
Standard 4-pin cylinder
EPD Controller: 703/261.8
Chamber gases:
Gases / MFC Size / Gas name / MFC Maker / MFC Model number
Gas 1 / 300 / N2 / AERA / FC-780C
Gas 2 / 200 / N2 / AERA / FC-780C
Gas 3 / 50 / N2 / AERA / FC-780C
Gas 6 / 3000 / N2 / AERA / FC-780C
Gas 7 / 200 / N2 / AERA / FC-780C
Gas 8 / 200 / N2 / AERA / FC-780C
Missing parts:
VDS
Side covers
DSQ Chamber
APM Chuck motor
DI Nozzle
WVDS
Includes:
AC Rack
Cable
Signal cable box
Power: 208V
1996 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE etcher/asher est un équipement avancé de gravure et de cendrage de plaquettes, utilisé dans le processus de fabrication de semi-conducteurs. Il offre une variété de procédés de gravure et d'ashing, allant de la gravure UV à la gravure alcaline, permettant aux utilisateurs de fabriquer une large gamme de dispositifs semi-conducteurs. Le système est conçu pour être très convivial, avec des interfaces utilisateur intuitives et des contrôles rapides pour la configuration des processus. LAM RESEARCH TCP 9600SE utilise un mandrin électrostatique tridimensionnel (ESC) pour obtenir une répartition uniforme des gaz de gravure et une uniformité de gravure sur la surface de la plaquette. Il en résulte une gravure et un cendrage très précis, garantissant que les produits sont produits avec la plus haute qualité et rendement possible. Les broches à haute résolution utilisées dans le mandrin électrostatique contribuent à assurer la répartition uniforme du gaz de gravure et la température contrôlée du substrat, nécessaire pour une gravure et un cendrage précis. TCP 9600 SE est livré avec un contrôleur intégré, qui simplifie la configuration du processus et permet aux utilisateurs de sélectionner rapidement les paramètres appropriés tels que la vitesse de gravure, le substrat, la pression de gravure et la composition du gaz de gravure. De plus, l'unité est équipée d'un moteur à grande vitesse, permettant aux utilisateurs d'obtenir une homogénéité de gravure supérieure tout en réduisant le temps de traitement. En outre, la machine dispose d'une fonction d'auto-nettoyage, qui nettoie automatiquement la plaquette pendant le processus, éliminant les particules et autres contaminants du produit. En plus de ses capacités de gravure et d'ashing efficaces, TCP 9600SE offre une gamme de fonctionnalités supplémentaires, telles qu'une conception modulaire, permettant aux utilisateurs de personnaliser leur configuration de processus selon leurs propres besoins. De plus, ses fonctions de gestion thermique améliorées permettent de s'assurer que les températures du substrat sont soigneusement surveillées et restent dans des limites de sécurité tout au long du processus. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH TCP 9600 SE est un outil de gravure et d'ashing avancé offrant une interface utilisateur intuitive, une gravure très précise et une gestion thermique améliorée. La conception modulaire et l'automatisation améliorée de l'actif permettent aux utilisateurs de personnaliser facilement le processus selon leurs propres exigences, tandis que sa rapidité et ses fonctions de nettoyage automatique permettent d'atteindre la meilleure qualité de produit possible.
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