Occasion LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9228025 à vendre en France

ID: 9228025
Taille de la plaquette: 8"
Etchers, 8" Control system: EnVision CPU: 586 Processor HINE 38A Indexers Process chamber: Ceramic TCP window Endpoint detection, 853-001983-011 Heated endpoint window Process kits, 6" 6" ESC Semi / Major / No minor No chamber liner set SEIKO SEIKI STP-1000 Turbo pump, 1000L/S No turbo pump interlock board Pendulum gate valve: VAT65 Vat gate valve controller: PM7 Main chamber manometer: 100mt Turn RF coil: 6 Turns DIP-PCB RF Tuner Helium back side cooling Gas DSQ Chamber: Hinged DSQ stripper WVDS Gas type and flow configuration: O2, CF4, H2O Heated paddle, 6" Quartz, 6" Manometer: 10 Torr Throttle valve pressure controller: MDVX Auto fill WVDS temperature controller Auto fill WVDS controller Chemraz o-ring APM: Ambient and hot water: 70°C Nitrogen gas blow dry APM DI Water heater controller APM DI Water nozzles Others: On-board 1250W generators: (3) RFG 1250 9600SE EnVision manual No chiller No dry pump.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE est un outil de gravure/cueillette de nouvelle génération conçu pour la gravure de précision et la cueillette de substrats semi-conducteurs. Sa technologie de procédé de pointe offre d'excellentes performances et une fiabilité à long terme, lui permettant d'être utilisé dans les environnements de production et les laboratoires de recherche. LAM RESEARCH TCP 9600SE utilise une plaque de catalyseur en quartz double face, ou « plaque de graveur », qui contient de petites pastilles de céramique pour créer une répartition uniforme des réactifs aqueux et des gaz. La plaque de graveur est alors exposée à un environnement de pression sous vide et à une puissance radio-fréquence (RF) qui alimente les réactifs et les entraîne rapidement dans le substrat. L'outil est équipé d'une plateforme logicielle et matérielle hautement personnalisable permettant un contrôle précis de l'uniformité spatiale et des réglages de puissance. La TCP 9600 SE présente les caractéristiques suivantes : elle est compatible avec de multiples tailles et formes de substrat, permettant aux utilisateurs de graver et de graver sur des pièces allant de 2 cm x 2 cm jusqu'à 12 cm x 12 cm. Il offre également une large gamme de pressions, de températures et d'atmosphères de réaction à choisir. Il dispose également de plusieurs fonctionnalités supplémentaires telles qu'un système de contrôle du débit de gaz et l'évacuation de l'eau, permettant un fonctionnement facile et sûr. Dans l'ensemble, TCP 9600SE est un outil de gravure et de cueillette de précision conçu pour des applications semi-conductrices. Sa technologie de processus avancée et sa configuration logicielle personnalisable offrent d'excellentes performances tout en réduisant les coûts opérationnels et le temps. Les options de taille polyvalentes et le contrôle environnemental automatisé garantissent un processus de gravure et de cueillette sûr et efficace. Avec sa fiabilité à long terme, LAM RESEARCH TCP 9600 SE est un choix parfait pour toute application de gravure/ashing.
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