Occasion LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9228025 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 9228025
Taille de la plaquette: 8"
Etchers, 8"
Control system: EnVision
CPU: 586 Processor
HINE 38A Indexers
Process chamber:
Ceramic TCP window
Endpoint detection, 853-001983-011
Heated endpoint window
Process kits, 6"
6" ESC Semi / Major / No minor
No chamber liner set
SEIKO SEIKI STP-1000 Turbo pump, 1000L/S
No turbo pump interlock board
Pendulum gate valve: VAT65
Vat gate valve controller: PM7
Main chamber manometer: 100mt
Turn RF coil: 6 Turns
DIP-PCB RF Tuner
Helium back side cooling
Gas
DSQ Chamber:
Hinged DSQ stripper
WVDS
Gas type and flow configuration: O2, CF4, H2O
Heated paddle, 6"
Quartz, 6"
Manometer: 10 Torr
Throttle valve pressure controller: MDVX
Auto fill WVDS temperature controller
Auto fill WVDS controller
Chemraz o-ring
APM:
Ambient and hot water: 70°C
Nitrogen gas blow dry
APM DI Water heater controller
APM DI Water nozzles
Others:
On-board 1250W generators: (3) RFG 1250
9600SE EnVision manual
No chiller
No dry pump.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE est un outil de gravure/cueillette de nouvelle génération conçu pour la gravure de précision et la cueillette de substrats semi-conducteurs. Sa technologie de procédé de pointe offre d'excellentes performances et une fiabilité à long terme, lui permettant d'être utilisé dans les environnements de production et les laboratoires de recherche. LAM RESEARCH TCP 9600SE utilise une plaque de catalyseur en quartz double face, ou « plaque de graveur », qui contient de petites pastilles de céramique pour créer une répartition uniforme des réactifs aqueux et des gaz. La plaque de graveur est alors exposée à un environnement de pression sous vide et à une puissance radio-fréquence (RF) qui alimente les réactifs et les entraîne rapidement dans le substrat. L'outil est équipé d'une plateforme logicielle et matérielle hautement personnalisable permettant un contrôle précis de l'uniformité spatiale et des réglages de puissance. La TCP 9600 SE présente les caractéristiques suivantes : elle est compatible avec de multiples tailles et formes de substrat, permettant aux utilisateurs de graver et de graver sur des pièces allant de 2 cm x 2 cm jusqu'à 12 cm x 12 cm. Il offre également une large gamme de pressions, de températures et d'atmosphères de réaction à choisir. Il dispose également de plusieurs fonctionnalités supplémentaires telles qu'un système de contrôle du débit de gaz et l'évacuation de l'eau, permettant un fonctionnement facile et sûr. Dans l'ensemble, TCP 9600SE est un outil de gravure et de cueillette de précision conçu pour des applications semi-conductrices. Sa technologie de processus avancée et sa configuration logicielle personnalisable offrent d'excellentes performances tout en réduisant les coûts opérationnels et le temps. Les options de taille polyvalentes et le contrôle environnemental automatisé garantissent un processus de gravure et de cueillette sûr et efficace. Avec sa fiabilité à long terme, LAM RESEARCH TCP 9600 SE est un choix parfait pour toute application de gravure/ashing.
Il n'y a pas encore de critiques