Occasion LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9228028 à vendre en France

LAM RESEARCH TCP 9600 SE
ID: 9228028
Taille de la plaquette: 8"
Etcher, 8" APM Function RF Matcher.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE est un équipement de gravure/ashing à semi-conducteur conçu pour une performance et une commodité optimales. Il fournit un processus de gravure/cendres entièrement automatisé pour une large gamme de diélectriques, métaux et autres matériaux. Le système est pré-programmé avec des recettes de gravure/cendres standard pour fournir la cohérence et la flexibilité dans la création de lots de caractéristiques uniques. LAM RESEARCH TCP 9600SE est équipé de fonctionnalités avancées telles qu'un convoyeur multi-têtes, une machine de contrôle multi-canaux et un outil de cartographie des plaquettes à grande vitesse. L'actif de convoyeur multi-têtes utilise à la fois un convoyeur à rouleaux et un sous-système de transport acoustique. Le convoyeur à rouleaux est réglable en taille pour accueillir des plaquettes de différentes tailles. Le sous-système de transport acoustique est conçu pour transférer des plaquettes dans une configuration sans contact sans contact mécanique. Le rouleau d'entraînement fournit de l'air à pression réduite dans une chambre fermée, permettant aux plaquettes de « flotter » à l'intérieur de la chambre. Le sous-système de transport acoustique est alimenté par un oscillateur à ultrasons, propulsant les plaquettes à travers un champ acoustique généré par le tube vibrant. TCP 9600 SE est équipé d'un modèle de contrôle multi-canaux pour contrôler les paramètres du processus et la cartographie des plaquettes. La cartographie optiquement cartographiée des plaquettes permet un positionnement précis des plaquettes sur les plateaux supportés. L'équipement de contrôle multi-canaux permet également de suivre les progrès de gravure et d'ashing en temps réel, assurant que les conditions de gravure/chambre de cendres restent optimales tout au long du processus. Le système de cartographie à grande vitesse des plaquettes intégré à l'unité est alimenté par un laser, ce qui permet de cartographier rapidement les plaquettes sur des plateaux supportés. Les données de cartographie stockées sont utilisées pour surveiller l'état des processus de gravure et de cueillette. La machine de cartographie est capable de définir avec précision la dimension exacte de chaque plaquette et son emplacement correspondant sur le plateau supporté avec une précision pouvant atteindre 5 microns. TCP 9600SE est un graveur/asher puissant offrant un contrôle précis sur l'ensemble du processus de gravure et de cueillette. Il permet une cartographie à grande vitesse et une gravure/cueillette précise d'un large éventail de matériaux. Son processus automatisé et son outil de contrôle de précision garantissent des résultats cohérents et fiables. LAM RESEARCH TCP 9600 SE est un atout idéal pour la production en grand volume de pièces micro-électroniques précises.
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