Occasion LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9235586 à vendre en France
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Vendu
ID: 9235586
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
Etcher, 8"
Main process module (PM1): TCP 9600SE Metal etch
Pedestal type:
Wafer clamp: ESC With He cooling
Electrode gap: Fixed gap
Casette interface:
(2) Hine 38A indexers
Gas box configuration:
Orbitally welded gas box
Backside helium cooling: Unit MFC (50 sccm)
Gas line # / Gas / Flow (sccm) / MFC Mfgr / MFC Model
1 / N2 / 100 / Unit / 1600
2 / O2 / 100 / Unit / 1600
3 / N2 / 10 / Unit / 1600
4 / CL2 / 100 / Unit / 1660
5 / BCL3 / 100 / Unit / 1660
6 / SF6 / 100 / Unit / UFC-1200A
H2O 500 TYLAN VC-4900VRH
CE Marked
2000 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE est un puissant graveur utilisé dans l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. Il s'agit d'une plateforme complète qui couvre l'ensemble du processus de gravure, du chargement des plaquettes au contrôle des procédés, au nettoyage des produits et à la surveillance des émissions. L'équipement utilise un système de distribution de gaz LAMAX qui fonctionne sur une plage de pression allant jusqu'à 60 millibar, permettant un contrôle précis du processus de gravure. La machine est capable de graver des substrats avec une taille maximale de plaquette de 200 mm, avec un temps de traitement par plaquette allant de 3 à 30 minutes. LAM RESEARCH TCP 9600SE comprend des composants logiciels avancés qui lui permettent d'analyser les paramètres du processus et de permettre une gravure de haute précision. Ces composants comprennent un détecteur à base de lumière, une unité de balayage de tension de capacité et un capteur de gaz à haut débit. Avec cette machine, les utilisateurs sont en mesure d'ajuster les paramètres du processus pour obtenir le résultat de gravure souhaité. De plus, l'outil est capable de contrôler avec précision le débit de gaz afin de maintenir l'environnement de gravure optimal. TCP 9600 SE comprend également des diagnostics intégrés et des outils qui lui permettent de surveiller ses performances. La machine utilise un actif de contrôle thermique avancé qui maximise le débit tout en minimisant les déchets et les émissions. Il dispose également d'une interface d'écran tactile qui donne accès à toutes les fonctions du modèle. De plus, le graveur est équipé d'un équipement de revêtement en quartz de précision qui aide à garder la chambre propre et prévient la contamination de l'environnement de la chambre. TCP 9600SE est un graveur efficace et efficient qui permet aux utilisateurs de l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs d'ajuster avec précision leur procédé de gravure. Avec un composant logiciel puissant, un excellent design de construction et des outils avancés, la machine offre aux fabricants de semi-conducteurs un moyen efficace d'obtenir des résultats de gravure de haute qualité.
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