Occasion LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9244726 à vendre en France

« LAM RESEARCH TCP 9600 SE » est un équipement de type graveur conçu spécifiquement pour les applications de gravure de plaquettes semi-conductrices. Ce système est conçu pour fournir des paramètres de processus optimaux et l'uniformité, assurant des résultats cohérents. Il fournit les meilleurs débits en production avec le plus haut degré de précision, de répétabilité et de fiabilité de processus pour la gravure des appareils structurés modernes. LAM RESEARCH TCP 9600SE est une unité entièrement équipée et chargée en cassettes qui fournit le chargement automatisé des plaquettes, la cartographie des plaquettes et la reconnaissance des plaquettes avec la machine de contrôle des processus statistiques. Cela permet à l'utilisateur de contrôler complètement le processus de gravure, de la sélection de la recette au traitement réel. La pompe est une pompe à aubes rotatives, fournissant à l'outil une pression de fonctionnement fiable et constante. L'etcher utilise un générateur hyperfréquence de forte puissance pour chauffer les gaz de traitement, y compris les composés chlore, pour ioniser le gaz et pulvériser électriquement le matériau à graver de la plaquette. Le matériel de nettoyage des gaz élimine les particules submicroniques et les impuretés de l'effluent du procédé pour protéger l'environnement du laboratoire. Le modèle a une ouverture de refroidissement qui refroidit la plaquette à la température désirée pour compléter le processus de gravure. TCP 9600 SE comprend également des systèmes de contrôle avancés. Il s'agit notamment d'un équipement de contrôle de la température de la fenêtre à quartz, d'un système de contrôle automatisé de la vanne et d'une unité de contrôle de la température du substrat. La machine de contrôle de la température de la fenêtre à quartz assure une pression partielle d'oxygène constante dans la chambre de procédé, ce qui favorise des vitesses de gravure uniformes. L'outil automatisé de commande de la vanne assure une fermeture sûre et cohérente des gaz de procédé. L'actif de régulation de la température du substrat empêche la formation de paillettes ou d'espèces chimiques instables sur la plaquette. Un modèle anti-surcharge avancé est également inclus dans l'etcher. Cet équipement empêche le remplissage du réservoir chimique, assurant ainsi un processus de gravure sûr et cohérent. TCP 9600SE est conçu pour être compatible avec une variété de plaquettes, y compris le silicium sur isolant (SOI), monocouche et double couche. Ce système est conçu pour être utilisé en salle blanche, y compris dans les capots d'isolateurs résistants aux produits chimiques, et répond à plusieurs normes de sécurité, dont la norme NFPA 495, la norme NFPA 497, la directive CE 94/9/19 et la norme ISO 9001/14001. LAM RESEARCH TCP 9600 SE etcher-style est une machine de gravure avancée qui offre des paramètres de processus de gravure optimaux, la répétabilité et la fiabilité. Cet outil assure un processus de gravure cohérent et sûr, et est utilisable dans une grande diversité de matériaux semi-conducteurs et de réglages de salle blanche.