Occasion LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9300195 à vendre en France

LAM RESEARCH TCP 9600 SE
ID: 9300195
Taille de la plaquette: 6"
Metal etcher, 6".
LAM RESEARCH TCP 9600 SE est un graveur de qualité industrielle et asher optimisé pour une utilisation dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est conçu pour graver rapidement des structures complexes dans une variété de substrats avec une précision et une répétabilité extrêmement élevées. La version standard de la machine utilise une nouvelle génération de logiciels et de matériel de contrôle des processus qui offre une meilleure uniformité et productivité pour différents processus de gravure et de cueillette, y compris la gravure par ions réactifs (RIE), la gravure électro-chimique (ECE) et la gravure par plasma (PE). La machine comprend également un système de distribution de gaz inerte, qui assure une uniformité optimale et la qualité du processus de gravure ou de cendres. LAM RESEARCH TCP 9600SE est construit avec des matériaux de la plus haute qualité pour fournir des performances fiables et une durée de vie prolongée pendant les processus de fabrication difficiles. Le chauffage par substrat (SH) a une plage de température de la chambre de procédé de 25 à 400 ºC, permettant une variété de processus de gravure et de cendres. De plus, TCP 9600 SE comprend un système d'entraînement X-Y-Z avec une vitesse horizontale maximale de 800 mm/s et une vitesse verticale de 600 mm/s, offrant une gravure rapide et précise pour tous les métaux et non-métaux. TCP 9600SE peut être utilisé pour la chimie de processus tels que le champ plein, la gravure directe et les circuits intégrés planaires (IC), tels que ceux utilisés dans les dispositifs de mémoire gigabit. En outre, la machine a été optimisée pour fournir des performances supérieures dans l'implantation ionique et la coupe-poussoir diamant, ce qui la rend appropriée pour des types exigeants de production de dispositifs électroniques et photovoltaïques. Le graveur et l'asher permettent le fonctionnement de divers gaz, dont O2, H2, He et CH4, ainsi que de fortes concentrations d'Ar, HCl, SiCl4 et NH4HF2. LAM RESEARCH TCP 9600 SE est également entièrement intégré à l'équipement de surveillance des processus de captation des mesures de gaz et de vide en temps réel. L'opérateur HMI (interface homme-machine) inclus dispose d'un support en plusieurs langues et a été conçu pour faciliter le fonctionnement et le dépannage. Les menus de dialogue fournissent aux utilisateurs toutes les informations nécessaires à la mise en place et au contrôle de la machine. LAM RESEARCH TCP 9600SE est un graveur et asher avancé conçu pour un usage industriel, et capable de fournir des résultats de gravure et de cendres supérieurs. Avec son fonctionnement robuste, facile à utiliser et son contrôle avancé des procédés, il est un excellent choix pour les processus de gravure et de production de cendres exigeants.
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