Occasion LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9410050 à vendre en France

LAM RESEARCH TCP 9600 SE est un équipement de graveur (ou asher) flexible et économique conçu spécifiquement pour répondre aux exigences de la technologie de traitement au niveau des appareils. Ce système est adapté à un large éventail de paramètres de processus, y compris les trous, tranchées, buses, tranchées encastrées, rapports d'aspect élevés, et diélectriques. Avec son ensemble de contrôle avancé, cette unité offre un contrôle, une vitesse et une précision supérieures tout en minimisant la contamination et en éliminant le besoin de recettes coûteuses basées sur le processus. LAM RESEARCH TCP 9600SE utilise une source de plasma DC qui permet des niveaux élevés de sélectivité et d'uniformité des gravures, ainsi qu'un taux de gravure élevé. Cet etcher est capable de traiter de petites géométries et caractéristiques, y compris des caractéristiques 2D et 3D, telles que des trous et des tranchées, avec d'excellents rendements et reproductibilité. De plus, la machine à mouvement X-Y intégrée permet un profilage et un réglage précis des caractéristiques. L'outil de contrôle de mouvement de haute précision peut être ajusté pour assurer l'uniformité des formes et des tailles des caractéristiques. L'etcher dispose également de fonctionnalités technologiques avancées, telles que le nettoyage et l'épuration intégrés des plaquettes, le contrôle avancé de la pression et du débit, et le contrôle indépendant de la zone thermique. La précision et la précision de son processus sont encore améliorées par sa technologie de pointe, qui permet de surveiller les processus in situ. De plus, le mode d'accord de processus avancé (PTM) intégré offre une précision et un contrôle de processus supérieurs. TCP 9600 SE est adaptable pour une gamme de processus, y compris les processus de front-end of line (FEOL) et de back-end of line (BEOL). Il peut traiter des structures complexes avec une fenêtre de gravure allant de 0,3 μ m à 150 μ m, selon le type de matériau et les exigences du processus. De plus, l'etcher dispose d'un processus d'électrodéposition et d'évaporation intégré pour permettre le dépôt de métaux et de couches diélectriques avec le même procédé. En conclusion, TCP 9600SE etcher est un atout économique et fiable qui peut répondre aux exigences les plus exigeantes de la technologie de processus au niveau des appareils. Le modèle offre une excellente sélectivité de gravure, uniformité et précision, ainsi que des technologies de pointe qui offrent des capacités supérieures de contrôle des processus et de surveillance des processus.