Occasion LAM RESEARCH TCP 9600 #148436 à vendre en France

LAM RESEARCH TCP 9600 est un équipement avancé de graveur/asher conçu pour les procédés avancés de microfabrication. Il offre un contrôle précis de la température et des paramètres du procédé, permettant la gravure et la cueillette de substrats délicats tout en maintenant des paramètres précis de température et de processus. Le système LAM RESEARCH TCP9600 est basé sur une source d'ions à grappes de gaz, qui est intégrée à l'unité et fournit une source d'énergie précise, basse tension et à haut courant. En outre, la machine est conçue avec deux porte-plaquettes amovibles qui sont conçus pour les applications post-gravure et post-cendres afin d'assurer la flexibilité de l'outil. Les supports sont conçus pour des tailles de plaquettes jusqu'à 200mm et accueillir des recettes de processus de 0,2 à 0.6kV. L'actif dispose également d'une capacité de contrôle de la température et de la dissipation de chaleur qui peut limiter la température du substrat lors des opérations de gravure ou de cueillette. Cette caractéristique est également importante pour minimiser la possibilité d'endommager l'échantillon en raison de la température élevée. Le modèle est équipé d'une atmosphère de gaz inerte qui empêche la contamination du substrat par des substances réactionnelles dans l'atmosphère. Il est programmable pour fournir des paramètres contrôlés basés sur des recettes spécifiques à l'utilisateur. TCP-9600 dispose également de fonctionnalités de programmation avancées, permettant à l'utilisateur de spécifier les paramètres de gravure, sélectionner les gaz, activer/désactiver et sélectionner le flux de gaz, activer/désactiver la puissance ultra haute fréquence, et activer/désactiver le cluster et le contrôle ionique du faisceau. L'utilisateur est même capable de définir des paramètres individuels de gravure et de cendres. Enfin, le logiciel d'équipement TCP 9600 fournit une interface utilisateur intuitive pour configurer et surveiller les opérations de gravure et de cueillette. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH TCP-9600 est un système de gravure/cueillette de haute qualité qui fournit un contrôle précis de la température et du processus. Ses caractéristiques avancées lui permettent de créer des structures et des motifs de haute qualité sur une grande variété de substrats, ce qui en fait une solution idéale pour les processus de microfabrication avancés.