Occasion LAM RESEARCH TCP 9600 #293805103 à vendre en France
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LAM RESEARCH TCP 9600 est un équipement de graveur/asher à plasma utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Le système est conçu pour modeler avec précision et graver ou asher des surfaces avec une grande répétabilité et précision. LAM RESEARCH TCP9600 utilise deux chambres sources individuelles configurables séparément permettant des vitesses de gravure optimisées pour les matériaux diélectriques, métalliques et oxydes de silicium. L'unité utilise un nouveau procédé sophistiqué et efficace basé sur des sources de plasma couplées inductives à basse pression exclusives de LAM RESEARCH. Les sources de plasma permettent une gravure et une cueillette de haute précision des structures à partir de couches métalliques, d'oxyde de silicium et de nitrures. Les chambres sources innovantes de la machine sont conçues pour créer des résultats de processus de haute pureté et fiables, garantissant des performances cohérentes et fournissant une solution rentable. Les systèmes entièrement automatiques offrent un haut degré de contrôle des processus et de rétroaction, ce qui réduit les coûts et augmente le temps de disponibilité. TCP-9600 est également livré avec une large gamme de fonctionnalités logicielles LAM RESEARCH qui permettent une configuration facile et précise de la recette de processus, l'exécution et l'optimisation des processus, assurant des résultats de gravure optimaux. Le LAM TCP 9600 permet de graver et d'aspirer des matériaux diélectriques, métalliques et oxyde de silicium avec une excellente précision et répétabilité, de manière économique. Les deux chambres sources indépendantes, l'automatisation intégrée et l'outil de contrôle commun permettent de configurer rapidement et facilement une exécution. La chambre de gravure est également équipée de serrures de chargement, et les systèmes de serrures externes et arrière en option permettent un débit élevé. La configuration unique de la source de plasma permet des flux de travail respectueux de l'environnement et à faible consommation, ainsi qu'une grande uniformité, répétabilité et stabilité des processus. En outre, l'actif dispose d'un traitement d'échappement unique et nécessite très peu d'entretien, ce qui est à la fois respectueux de l'environnement et rentable. Dans l'ensemble, TCP9600 etcher/asher est un modèle avancé qui est conçu pour assurer la précision, la répétabilité et la précision lors du traitement des matériaux diélectriques, métalliques et oxyde de silicium. Les deux chambres sources, l'équipement de contrôle commun et le contrôle et la rétroaction sophistiqués des processus offrent une solution rentable et efficace. Le système permet également la configuration et l'exécution facile de la recette ainsi que l'optimisation du processus pour des résultats de gravure optimaux. Avec sa conception respectueuse de l'environnement et son installation à faible entretien, LAM RESEARCH TCP-9600 est une unité fiable et rentable pour la gravure et le cendrage des matériaux semi-conducteurs.
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