Occasion LAM RESEARCH TCP 9600 #293809935 à vendre en France

LAM RESEARCH TCP 9600 est un puissant équipement de graveur/asher conçu pour traiter avec précision les plaquettes avec précision et haut débit. Il est équipé d'un système de gravure en boucle fermée robuste et précis et a la capacité de gérer la production entièrement automatisée avec un contrôle précis de la température et des temps de cycle précis. L'unité dispose d'une source d'implant source/drain entièrement programmable à bord qui peut être adaptée à chaque processus de fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Cette machine est capable de manipuler des opérations de gravure et de cendrage à grande vitesse avec un large éventail de matériaux et d'applications. LAM RESEARCH TCP9600 est un outil de gravure et de cendrage modulaire et de haute précision, capable de diverses opérations de gravure et de cendres selon l'application. Il a un design à chambre unique avec une chambre de gravure et de cendres dédiée, offrant une plage de température allant jusqu'à 500 ° C L'actif est également équipé d'un moteur de grande précision, permettant un contrôle précis du taux de gravure. Il comprend également un certain nombre de fonctionnalités programmables avancées pour un contrôle précis du taux d'aspiration, des débits et de la pression. TCP-9600 offre également une vitesse et un débit élevés, avec des taux de gravure allant jusqu'à 200 mm/min et des taux de cendres allant jusqu'à 400 mm/min. Le modèle est conçu pour accueillir jusqu'à huit processus, chacun avec trois profondeurs de niveau et sept niveaux de gravure. Il dispose également d'une couverture complète avec des fonctionnalités telles que la détection automatique des frontières, le profilage des parois latérales et la protection contre la surcouche. Le TCP 9600 est un équipement fiable conçu pour assurer une disponibilité maximale pendant la production. Il est équipé d'un système avancé de suivi des processus qui enregistre les activités et les événements, et peut être utilisé pour surveiller la performance de l'unité. Pour faciliter l'entretien, TCP9600 est également équipé d'une machine d'autosurveillance qui effectue des essais périodiques sur la chambre de gravure, les soupapes de sécurité et le moteur. LAM RESEARCH TCP-9600 est un outil de gravure et d'ashing robuste et fiable qui fournit un traitement précis des matériaux et un débit élevé. Il s'agit d'une solution hautement adaptable pour les procédés modernes de fabrication de dispositifs semi-conducteurs, et ses caractéristiques avancées pour la gravure précise et l'ashing en font une solution idéale pour une variété d'applications industrielles.