Occasion LAM RESEARCH TCP 9600 #293809943 à vendre en France

ID: 293809943
Etchers, parts systems Gas box Chamber wall Missing parts: Harmonic arm WVDS PCB Board Generator VAT Valve Isolation valve Turbo pump.
LAM RESEARCH TCP 9600 est un graveur/asher spécialement conçu pour le traitement plasma à haut volume. Il est construit sur une plate-forme à double chambre, permettant la gravure plasma simultanée de plusieurs substrats et permettant le basculement rapide entre chambres pour les opérations par lots. La chambre de procédé est conçue pour accueillir deux substrats de dimensions allant jusqu'à 8 pouces de diamètre et est équipée d'un équipement de distribution de gaz 8 processus, permettant un contrôle serré des processus. Le système de vide intégré fournit de faibles niveaux de contamination des particules et une grande antenne RF déplacée linéairement raccourcit le temps de gravure. Une chambre en acier inoxydable poli assure un entretien minimal et une longue durée de vie. LAM RESEARCH TCP9600 est équipé d'un logiciel de contrôle qui automatise l'ensemble du processus de gravure et surveille chaque étape. La console de commande principale fournit une interface utilisateur graphique pour un fonctionnement facile, avec une connexion Ethernet directe pour la surveillance et le contrôle à distance. Il comprend également une bibliothèque de paramètres de recette standard, fournissant aux utilisateurs un ensemble de recettes préprogrammées pour démarrer le travail de gravure. L'utilisateur peut accéder à la bibliothèque de recettes, modifier les paramètres et les enregistrer en mémoire. De plus, une connexion réseau permet de surveiller et de contrôler à distance plusieurs unités. L'unité est en outre équipée d'un générateur de puissance RF 500W, fournissant l'énergie requise dans le processus de gravure plasma. Le fonctionnement multimode lui permet de travailler à la fois en mode gravure dure et en mode gravure douce. La machine de verrouillage unique des rayonnements RF permet également TCP-9600 de fonctionner à une pression constante, assurant une gravure uniforme sur plusieurs substrats. LAM RESEARCH TCP-9600 dispose d'un outil de mélange automatique de gaz avec un collecteur intégré de mélange de gaz et une vanne de grille linéaire à deux étages pour assurer un mélange précis et un entretien facile. La technologie de mélange multi-zones permet aux utilisateurs d'ajuster les paramètres de la recette en fonction des matériaux qu'ils gravent. La technologie d'imagerie 3D à haute résolution sous-micron assure la formation de motifs de haute qualité. L'actif sous vide intégré permet de minimiser l'exposition au gaz et aux produits chimiques, tandis que le logiciel intégré offre une protection d'alarme et un entretien facile. Globalement, TCP9600 offre un modèle de gravure fiable et convivial qui répond aux besoins de toute production à haut volume. Avec ses performances puissantes et ses fonctionnalités avancées, l'équipement surpasse ses concurrents en termes de précision et de précision, ce qui en fait le choix idéal pour les fabricants. Ces caractéristiques en font un incontournable pour ceux qui veulent un maximum d'efficacité et de valeur de leurs opérations de traitement du plasma.
Il n'y a pas encore de critiques