Occasion LAM RESEARCH TCP 9600 #293815236 à vendre en France

LAM RESEARCH TCP 9600
ID: 293815236
Etcher.
LAM RESEARCH TCP 9600 est un graveur avancé, ou asher, conçu pour la gravure avancée, le strippage et le dépôt de photorésist, de diélectrique, de polyimide et d'autres matériaux gravables dans l'industrie des semi-conducteurs. Il convient à la fois aux procédés par lots à haut et à faible volume, ainsi qu'au développement de procédés et au prototypage à faible coût. LAM RESEARCH TCP9600 offre une variété de capacités de processus pour ses applications telles que la gravure de motifs de haute qualité, la gravure à haut débit, le dépôt uniforme et la gravure ionique réactive (RIE). En fonctionnement, TCP-9600 etcher est configuré avec deux chambres sources de plasma indépendantes et deux systèmes de contrôle d'extrémité distincts. Les sources de plasma sont reliées par des vannes de distribution gazeuse au collecteur d'échappement, ce qui permet aux utilisateurs de programmer et de contrôler les paramètres du processus dans chaque chambre. Cela permet aux utilisateurs de définir presque tous les paramètres du processus de gravure et de dépôt, tels que les débits de gaz, les températures et les niveaux de pression, pour obtenir les résultats souhaités. L'équipement de contrôle du point d'extrémité surveille le processus dans les chambres. TCP9600 etcher est conçu avec un générateur de plasma alimenté par micro-ondes et un système de contrôle avancé. Il utilise cette unité pour contrôler à la fois la pression de la chambre, la température, et d'autres paramètres de processus. Le générateur hyperfréquence permet des processus plus rapides tout en permettant l'utilisation de plusieurs chambres. La machine de contrôle avancée améliore la stabilité et la précision du processus de gravure et de dépôt. TCP 9600 etcher comprend également une gamme avancée de capteurs de processus pour mesurer les taux de gravure et de dépôt, fournissant un niveau élevé de contrôle et de rétroaction des processus. En outre, il peut être connecté à un ordinateur pour le fonctionnement à distance et le stockage de données. LAM RESEARCH TCP-9600 est capable de fonctionner avec jusqu'à neuf gaz et peut être programmé pour jusqu'à sept flux de gaz dans la chambre de gravure. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH TCP 9600 etcher est un outil de gravure et de dépôt perfectionné qui convient à la fois aux procédés avancés de gravure par lots à haut volume et au prototypage à faible coût. Il fournit un excellent contrôle des processus, des taux de traitement élevés, et une large gamme de capteurs de processus pour garantir les résultats de la plus haute qualité.
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