Occasion LAM RESEARCH TCP 9600 #9043962 à vendre en France

LAM RESEARCH TCP 9600
ID: 9043962
Taille de la plaquette: 5"
Etcher, 5".
LAM RESEARCH TCP 9600 est un graveur/asher conçu pour effectuer des processus de gravure et d'ashing volatils et précis avec une excellente uniformité et répétabilité. L'équipement utilise les technologies de chambre de pointe, le contrôle des processus et les systèmes de support pour fournir le maximum de fonctionnement fiable et des résultats de qualité supérieure pour une grande variété d'applications. La taille de la chambre est petite, permettant une utilisation élevée de l'espace, mais il est capable de traiter des volumes de chambre jusqu'à 16 pouces cubes. Le système utilise du matériel piloté par ordinateur, ce qui permet d'établir et de surveiller les paramètres de façon simple. Il est conçu pour minimiser les déformations et minimiser la marque de transfert, ce qui permet d'obtenir les meilleurs résultats de gravure et d'ashing possibles. L'opérateur peut utiliser un logiciel intégré pour configurer les paramètres et créer des programmes, et l'unité peut traiter les presets ainsi que stocker jusqu'à 50 plaquettes pour le traitement par lots. En outre, la machine dispose d'un contrôle PID basé sur microprocesseur pour plus de précision et de répétabilité. Avec elle, un utilisateur peut générer et maintenir un flux de gaz uniforme à travers la chambre, ce qui contribue en outre à produire d'excellents résultats constants. LAM RESEARCH TCP9600 dispose également d'un contrôleur de pression intégré qui permet de régler, surveiller et suivre facilement la pression de l'outil, ainsi que d'un contrôleur de température programmable qui peut être utilisé pour surveiller et mettre en place un environnement optimal pour les processus de gravure et de cueillette. L'atout comporte également une capacité de processus en place, ce qui rend plus facile et rentable l'utilisation d'une seule chambre pour tous les processus, plutôt que plusieurs chambres. Il offre également à l'utilisateur une plus grande flexibilité dans l'utilisation complète des wafer ou des fenêtres de processus, ainsi que la possibilité de traiter plusieurs couches dans la même chambre. En outre, le modèle est livré avec un ensemble de sécurité avancé qui contribue à assurer la sécurité des utilisateurs, y compris la porte et la chambre anti-incendie, le moment d'avertissement, le contrôle des processus et la détection des défaillances d'arc. TCP-9600 est une solution de graveur/asher fiable et de haute qualité, offrant précision et répétabilité, une automatisation facile et d'excellentes mesures de sécurité.
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