Occasion LAM RESEARCH TCP 9600 #9177752 à vendre en France

LAM RESEARCH TCP 9600 est un équipement avancé de graveur/asher conçu pour fournir des capacités de modélisation de précision et de traitement de surface. LAM RESEARCH TCP9600 est conçu pour traiter des plaquettes jusqu'à 300mm de diamètre, bien que de plus petites tailles de plaquettes puissent être manipulées par un adaptateur secondaire. En utilisant une série de modules de haute précision et de processus à grande vitesse, TCP-9600 est capable de processus de gravure/cendres incluant gravure humide, gravure sèche, gravure par pulvérisation, et plus encore. Avec une conception de chambre intégrée, TCP 9600 est conçu pour fournir des temps de cycle améliorés et réduits, par rapport aux techniques traditionnelles de traitement par lots. TCP9600 est équipé d'un système PLC pour le contrôle opérationnel et d'une variété d'options de contrôle des processus, y compris la surveillance en temps réel et l'accès au réseau à distance. En outre, l'unité dispose d'une suite logicielle de recettes de processus pour automatiser le contrôle des paramètres de processus. LAM RESEARCH TCP-9600 comprend également des fonctions de contrôle de l'uniformité et de reconstitution automatique afin de maintenir une performance optimale du processus sur tous les sites traités. Construit avec une gamme de chambres optionnelles, LAM RESEARCH TCP 9600 peut être configuré pour des processus de précision incluant l'ashing, la planarisation et la tranchée. La machine utilise une variété de méthodes pour l'introduction et l'extraction des plaquettes, telles que la récupération hors axe des plaquettes, les systèmes de chargement manuel des plaquettes, la manipulation sans contact des plaquettes, et le contrôle in situ des points d'extrémité SEM. Cela permet à LAM RESEARCH TCP9600 d'offrir des performances homogènes sur l'ensemble du domaine d'une configuration de chambre complexe. TCP-9600 dispose également d'une détection de position de précision avec des capacités d'imagerie bidimensionnelle et de recherche laser. Cela permet une imagerie précise de la chambre de processus et une amélioration du temps de disponibilité de l'outil. En outre, l'actif est équipé d'une suite de recettes de processus qui aident à automatiser les paramètres de processus pour les processus de gravure de précision et d'ashing. Le TCP 9600 offre des niveaux élevés de sécurité et de fiabilité en raison d'un environnement de plaquettes fermé. Le modèle est conçu pour réduire les émissions opérationnelles et répondre aux normes de sécurité applicables, tout en offrant un environnement propre et sec. L'équipement est alimenté par un PC/serveur tout-en-un, qui assure la fiabilité et les performances tout au long du cycle de vie. En conclusion, TCP9600 est un système de graveur/asher avancé conçu pour fournir des capacités de modélisation de précision et de traitement de surface. En utilisant une multitude de modules de procédés de haute précision, LAM RESEARCH TCP-9600 est capable de graver/ashing processus incluant gravure humide et sèche, gravure par pulvérisation et plus encore. Construit avec une gamme de chambres optionnelles, LAM RESEARCH TCP 9600 offre un contrôle d'uniformité et une auto-reconstitution pour une performance optimale du procédé. Cette unité présente également un haut niveau de sécurité et de fiabilité en raison d'un environnement de plaquette fermé, la détection de position de précision, ainsi qu'une suite de recettes de processus pour l'automatisation.