Occasion LAM RESEARCH TCP 9600 #9225269 à vendre en France

LAM RESEARCH TCP 9600 est un Asher de précision conçu pour la fabrication à haut volume de dispositifs avancés pour l'industrie des semi-conducteurs. L'équipement est une plate-forme modulaire, étroitement intégrée avec une variété de capacités de processus. L'intégration étroite des différents modules crée un processus robuste qui minimise la maintenance et la complexité opérationnelle. LAM RESEARCH TCP9600 utilise la technologie d'alignement optique pour assurer une gravure précise de l'aluminium, de l'oxyde encastré et des géométries sensibles. Le système a à la fois des capacités de gravure humide et sèche, permettant le traitement rentable d'une variété de plaquettes jusqu'à 200 mm de diamètre. En utilisant deux sources de faisceaux d'excitation d'ondes et d'électrons, TCP-9600 peut précisément maintenir le taux marginal de gravure désiré à +/- 0,1 microns par heure. TCP9600 peut traiter jusqu'à 60 substrats simultanément, ce qui permet un traitement flexible et personnalisé. Il utilise Intellifex, une architecture d'unité avancée, pour améliorer la productivité en optimisant automatiquement les taux de gravure et la précision des paramètres. La machine dispose également de Total Process Control, un outil en boucle fermée qui surveille la stabilité du processus tout au long du processus. Cela offre les avantages d'un rendement accru, d'un meilleur débit et de résultats constants de haute qualité. En plus de sa capacité et de sa précision de gravure élevées, LAM RESEARCH TCP-9600 offre une variété de technologies de pointe. Il a la capacité d'effectuer des gravures multicouches et déploie des techniques d'atténuation des débris telles que le contrôle avancé de l'épaisseur des films et le nettoyage sous vide. Le modèle comprend également une gamme de dispositifs de sécurité, tels que l'équipement de sécurité des gaz et le système de surveillance des soudures, qui offrent des garanties supplémentaires contre les conditions dangereuses. Dans son ensemble, le TCP 9600 offre une solution de gravure efficace, de haute précision et précise pour l'industrie des semi-conducteurs. Les capacités avancées et les systèmes de sécurité de l'unité le rendent idéal pour le traitement à haut volume de substrats complexes.