Occasion LAM RESEARCH TCP 9600 #9262480 à vendre en France
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LAM RESEARCH TCP 9600 est un équipement de graveur/asher à plasma conçu pour la gravure avancée des métaux, des composés III-V et des diélectriques. LAM RESEARCH TCP9600 offre un procédé avancé et précis adapté à une gamme d'applications en couches minces, tout en offrant une répétabilité exceptionnelle, une uniformité et des résultats de haute qualité. TCP-9600 comprend une source d'énergie élevée de 900 MHz, une chambre source de 2 ", un plateau de polarisation RF de 24" x 21 "et une interface informatique avec des recettes préchargées. TCP9600 peut graver des couches extrêmement minces, jusqu'à plusieurs nanomètres d'épaisseur, avec un haut degré d'uniformité et de répétabilité. Il fournit une solution idéale pour les exigences avancées de gravure en couches minces. TCP 9600 est entièrement personnalisable aux besoins de ses utilisateurs, ce qui le rend parfait pour tout type de processus de gravure. Il prend également en charge plusieurs types de chimie et une variété de tailles de chambres et de capacités de processus. LAM RESEARCH TCP-9600 fournit une précision et une répétabilité de processus remarquables. Il surveille et ajuste constamment les conditions de processus, améliorant considérablement la répétabilité et les rendements des gravures. La source d'énergie 900 MHz génère une densité de puissance plus élevée que les autres systèmes, tandis que ses fonctions de contrôle informatique complètes permettent d'ajuster les paramètres de processus tels que l'énergie ionique, le flux ionique et les niveaux de puissance. Cet etcher/asher offre également un meilleur débit avec son système multi-chambres. Avec son plateau intégré de biais RF, LAM RESEARCH TCP 9600 permet la gravure de plus grandes zones avec un seul cycle de processus, et contribue à réduire le besoin de multiples opérations. En termes de sécurité, LAM RESEARCH TCP9600 assure la sécurité des travailleurs grâce à la surveillance de la température, aux dispositifs de sécurité et à d'autres dispositifs de sécurité. Le graveur/asher plasma est également équipé d'une unité de diagnostic embarquée qui tient un registre des paramètres de processus, aidant les opérateurs à assurer une excellente qualité et répétabilité. TCP-9600 est une machine de graveur/asher polyvalente et performante qui offre une précision de pointe et une répétabilité de processus. C'est la solution préférée pour toute application nécessitant des capacités de processus avancées et des résultats de haute qualité.
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