Occasion LAM RESEARCH TCP 9608 SE #9157867 à vendre en France
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ID: 9157867
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1994
Etcher, 8"
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Classic
TCP
DSQ
Local RF match
1994 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9608 SE est un graveur/asher automatisé conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. Il est capable de traiter jusqu'à 300 jusqu'à 600 8 "plaquettes à des vitesses allant jusqu'à 300WPH. Ce graveur/asher dispose d'une cassette de 20 fentes, fournit un contrôle de la pression de chambre aussi bas que 0.1mbar, et offre des processus de gravure haute performance. C'est l'une des premières gravures de production à présenter un traitement à basse pression et est compatible avec les gravures en phase vapeur organique. Le TCP 9608 SE dispose d'une construction modulaire et est livré avec une gamme de composants automatisés, y compris un système de vide, des systèmes de distribution de gaz et de matériaux, un système de contrôle et une interface homme-machine (HMI). Il a une conception à deux pièces, ce qui élimine le besoin d'entretien manuel du robot et assure la compatibilité de la salle blanche. LAM RESEARCH TCP 9608 SE offre un contrôle facile des procédés grâce à son HMI et un contrôle fin de la pression de la chambre et des gaz de procédé. Il dispose également de systèmes de sécurité intégrés robustes, y compris un système de gestion des gaz de procédé qui empêche le rejet de produits chimiques dangereux. TCP 9608 SE a une source de plasma descendante, qui est idéale pour créer des modèles de fonctionnalités hautement répétitifs avec une grande uniformité et répétabilité. Il a également une conception de chambre fractionnée qui minimise la possibilité de processus chimiques indésirables. La pression de la chambre de l'etcher peut être optimisée pour assurer le plus haut débit et la plus faible utilisation chimique. LAM RESEARCH TCP 9608 SE offre des performances supérieures dans les applications de gravure telles que l'acier inoxydable, le SiC, le TiN/TiC, l'aluminium et le titane. Son architecture flexible et sa gamme d'options de traitement lui permettent d'être utilisé à la fois pour la gravure simple et double face. Cet etcher/asher est également conçu pour la fabrication de plaquettes à haut débit et à faible coût. Ses processus intégrés garantissent des produits de haute qualité et des rendements élevés. Ces caractéristiques font de TCP 9608 SE un choix idéal pour les fabricants de semi-conducteurs à la recherche d'un graveur efficace avec la capacité de fournir des résultats de qualité. Ses capacités de haute performance et sa rentabilité en font un excellent choix pour effectuer diverses tâches de traitement des plaquettes.
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