Occasion LAM RESEARCH TCP 9608 SE #9226416 à vendre en France
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ID: 9226416
Style Vintage: 1998
Metal etchers
Main CPU & ACDC module
SMIF System: (2) ASYST 2200 Indexers
Sub fab equipment: Remote AC box
Handler system:
Wafer notch alignment with spatula
(2) Harmonic drive with wafer handlers
APM Slider with shuttle arm
Process chambers:
Etching with E-chuck
Stripping
Spin rinse dry with vacuum chuck
Main chamber:
Turbo pump 1000 ltrs with controller
E-Chuck
TCP RF Match
Bias RF Match
(2) RF Generators
CL2 MFC: 100 SCCM
BCL3 MFC: 50 SCCM
O2 MFC: 300 SCCM
N2 MFC: 20 SCCM
N2 MFC: 1000 SCCM
Ar MFC: 100 SCCM
He UPC: 50 SCCM
Strip chamber:
DSQ RF Match
Heater paddle
RF Generator
Manual WVDS Controller
O2 MFC: 2000 SCCM
N2 MFC: 300 SCCM
H2O MFC: 500 SCCM
With controller
(2) Load locks
(3) RF Generators: 1250 W
Manual WVDS Controller
1998 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9608 SE est un graveur/asher spécialement conçu pour polir l'aluminium, le laiton et d'autres métaux. Le graveur/asher utilise une source de plasma contrôlée pour graver les surfaces métalliques à des niveaux et des températures précis. Ce système est une machine très polyvalente, capable de graver et de couler simultanément, dans deux chambres distinctes. La première chambre est conçue pour effectuer des gravures sélectives à des températures allant jusqu'à 701 ° C et une grande variété de gaz tels que le chlore, l'oxygène, l'argon et l'azote. Il est idéal pour structurer des processus tels que le dépôt de couches minces, le masquage et la définition des tranchées et des coussinets. La deuxième chambre est conçue pour réaliser des processus de cueillette et est capable de températures jusqu'à 750 ° C Cela permet un cendrage plus rapide et plus efficace des matières organiques telles que les polymères, les photorésistes, les polymères perfluro et les acryliques. La TCP 9608 SE a plusieurs caractéristiques pour améliorer encore l'efficacité du processus de gravure et de cueillette. Il est équipé d'un moniteur d'émissions et d'un capteur de pression, assurant la stabilité du processus et un fonctionnement reproductible. De plus, la chambre de gravure dispose d'un système de mélange de débit et de mélange gazeux réglable pour un contrôle précis des processus de gravure et de cueillette. La chambre a également des profils intégrés pour plusieurs recettes, ce qui la rend facile à sauvegarder et à répéter les processus couramment utilisés. LAM RESEARCH TCP 9608 SE est conçu pour les laboratoires et les applications industrielles. Il est conçu pour un fonctionnement sûr et offre un bouclier de sécurité intégré pour une sécurité accrue. Il est également conforme aux normes CE et UL, garantissant la longévité et la qualité de la machine. Ce système a également une caractéristique pour assurer la précision du processus : une capacité de mouvement à trois axes, qui minimise la dérive du plateau et aboutit à une mesure précise du processus. Dans l'ensemble, TCP 9608 SE est un graveur/asher conçu pour répondre aux besoins des chercheurs, des ingénieurs industriels et des professionnels du développement. Il offre des capacités de gravure et de cueillette précises, ainsi que plusieurs caractéristiques de sécurité pour la protection des utilisateurs. En outre, il est équipé de capacités de mouvement et de systèmes de contrôle avancés pour les processus de gravure et de cueillette de précision. Si vous recherchez un graveur/asher fiable et polyvalent, LAM RESEARCH TCP 9608 SE est un excellent choix.
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