Occasion LAM RESEARCH TCP 9608 SE #9226416 à vendre en France

ID: 9226416
Style Vintage: 1998
Metal etchers Main CPU & ACDC module SMIF System: (2) ASYST 2200 Indexers Sub fab equipment: Remote AC box Handler system: Wafer notch alignment with spatula (2) Harmonic drive with wafer handlers APM Slider with shuttle arm Process chambers: Etching with E-chuck Stripping Spin rinse dry with vacuum chuck Main chamber: Turbo pump 1000 ltrs with controller E-Chuck TCP RF Match Bias RF Match (2) RF Generators CL2 MFC: 100 SCCM BCL3 MFC: 50 SCCM O2 MFC: 300 SCCM N2 MFC: 20 SCCM N2 MFC: 1000 SCCM Ar MFC: 100 SCCM He UPC: 50 SCCM Strip chamber: DSQ RF Match Heater paddle RF Generator Manual WVDS Controller O2 MFC: 2000 SCCM N2 MFC: 300 SCCM H2O MFC: 500 SCCM With controller (2) Load locks (3) RF Generators: 1250 W Manual WVDS Controller 1998 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9608 SE est un graveur/asher spécialement conçu pour polir l'aluminium, le laiton et d'autres métaux. Le graveur/asher utilise une source de plasma contrôlée pour graver les surfaces métalliques à des niveaux et des températures précis. Ce système est une machine très polyvalente, capable de graver et de couler simultanément, dans deux chambres distinctes. La première chambre est conçue pour effectuer des gravures sélectives à des températures allant jusqu'à 701 ° C et une grande variété de gaz tels que le chlore, l'oxygène, l'argon et l'azote. Il est idéal pour structurer des processus tels que le dépôt de couches minces, le masquage et la définition des tranchées et des coussinets. La deuxième chambre est conçue pour réaliser des processus de cueillette et est capable de températures jusqu'à 750 ° C Cela permet un cendrage plus rapide et plus efficace des matières organiques telles que les polymères, les photorésistes, les polymères perfluro et les acryliques. La TCP 9608 SE a plusieurs caractéristiques pour améliorer encore l'efficacité du processus de gravure et de cueillette. Il est équipé d'un moniteur d'émissions et d'un capteur de pression, assurant la stabilité du processus et un fonctionnement reproductible. De plus, la chambre de gravure dispose d'un système de mélange de débit et de mélange gazeux réglable pour un contrôle précis des processus de gravure et de cueillette. La chambre a également des profils intégrés pour plusieurs recettes, ce qui la rend facile à sauvegarder et à répéter les processus couramment utilisés. LAM RESEARCH TCP 9608 SE est conçu pour les laboratoires et les applications industrielles. Il est conçu pour un fonctionnement sûr et offre un bouclier de sécurité intégré pour une sécurité accrue. Il est également conforme aux normes CE et UL, garantissant la longévité et la qualité de la machine. Ce système a également une caractéristique pour assurer la précision du processus : une capacité de mouvement à trois axes, qui minimise la dérive du plateau et aboutit à une mesure précise du processus. Dans l'ensemble, TCP 9608 SE est un graveur/asher conçu pour répondre aux besoins des chercheurs, des ingénieurs industriels et des professionnels du développement. Il offre des capacités de gravure et de cueillette précises, ainsi que plusieurs caractéristiques de sécurité pour la protection des utilisateurs. En outre, il est équipé de capacités de mouvement et de systèmes de contrôle avancés pour les processus de gravure et de cueillette de précision. Si vous recherchez un graveur/asher fiable et polyvalent, LAM RESEARCH TCP 9608 SE est un excellent choix.
Il n'y a pas encore de critiques