Occasion LAM RESEARCH TM4.1 #9198145 à vendre en France

LAM RESEARCH TM 4.1 est un graveur/asher de pointe qui a été conçu pour fournir un procédé de haute qualité et reproductible pour une variété d'applications dans une large gamme de gaz, de pressions et de températures. La TM 4.1 etcher/asher combine une conception robuste et de haute précision avec un contrôle dynamique des processus in situ pour maximiser le rendement et le débit dans une variété de processus. Le TM 4.1 etcher/asher est construit avec des composants mécaniques robustes et fiables pour assurer une longue durée de vie avec un minimum d'entretien. Sa conception robuste permet également d'assurer une uniformité répétable sur toutes les courses de plaquettes. La TM 4.1 comprend une chambre en quartz avec des traverses électriques, des brides en acier inoxydable, une vanne de sélection de 200mm et un assemblage de gaz de procédé qui peut être personnalisé pour accueillir une large gamme de gaz de procédé. Le système de contrôle spécialisé de la TM 4.1 fournit un contrôle dynamique des processus in situ et une réponse adaptative pour assurer des performances répétables pour toutes les recettes de processus. De plus, la TM 4.1 comprend une chambre de procédé secondaire pour la cuisson des échantillons, ainsi qu'un alignement des plaquettes et un port de chargement pour faciliter le chargement et le déchargement des plaquettes, des masques et d'autres articles. Le TM 4.1 offre également des caractéristiques de sécurité avancées telles que des vannes d'arrêt d'urgence automatiques, un système de stockage de gaz inerte et la capacité de s'intégrer à des systèmes de purge de chambre active. Le TM 4.1 est conçu pour diverses applications, y compris la gravure et le cendrage, la résistance à la bande, le dépôt de couches minces, le dépôt de couches plus épaisses et le débourrage de plaquettes. En résumé, LAM RESEARCH TM 4.1 etcher/asher est un système robuste et de haute précision qui fournit une recette avancée de processus gravés au laser et un contrôle dynamique des processus in situ pour les processus personnalisés. Sa conception mécanique et électrique robuste, ses gaz de processus polyvalents et ses caractéristiques de sécurité avancées garantissent des performances et une répétabilité constantes. En combinant les capacités du TM 4.1 etcher/asher avec un service de traitement des plaquettes efficace et efficient, les fabricants peuvent tirer le meilleur parti de leurs applications de traitement des plaquettes.