Occasion LAM RESEARCH Torus 200 #9235815 à vendre en France

LAM RESEARCH Torus 200 est un équipement sophistiqué de gravure/cendres conçu pour assurer un traitement précis des couches de couches minces pendant le processus de fabrication des semi-conducteurs. Torus 200 utilise une chambre à vide couplée à un puissant système de source de plasam à résonance cyclotron électronique (ECR) pour fournir des processus de gravure/cendres optimisés, y compris une gravure sélective (anisotrope) à haut débit. La source de plasama a 200 watts de puissance et est capable de travailler dans les environnements gazeux Argon (Ar) et Fluor (F) dans la gamme de 0,1-50 mTorr. Il est équipé d'un moteur Focus Ring Driver, d'un régulateur de puissance programmable en fréquence, d'un interrupteur de sécurité et d'un plateau de cycles sources avec des fenêtres à quartz. LAM RESEARCH La chambre de gravure principale Torus 200 est capable de manipuler jusqu'à deux plaquettes de 4 « à des températures allant jusqu'à 150 ° C, tandis que les serrures de charge peuvent traiter jusqu'à quatre plaquettes de 4 » dans un processus parallèle. L'unité offre des capacités de gravure/cendres simultanées avec la chimie à double chambre - alliant plusieurs étapes de gravure/cendres à effectuer sur la même plaquette pour l'optimisation du dispositif. La plate-forme avancée est construite avec des paramètres de recette flexibles et un contrôle précis du processus, ainsi qu'une interface HMI (Human Machine Interface) avancée avec des fonctions de gestion de recette. Cela permet à l'utilisateur de configurer rapidement et facilement les paramètres de processus pour leurs besoins spécifiques de gravure/cendres. Torus 200 dispose également d'une isolation complète de la chambre de transport et de traitement, d'une chambre de traitement sous vide avec des caractéristiques de cuisson robustes, et d'un terminal de service à distance pour assurer la stabilité de la production au niveau industriel et une sécurité accrue des utilisateurs. La machine est très fiable en raison de sa conception hybride unique des étages de portage d'air et de levitation magnétique, avec le logiciel de commande TOYOMOTION de LAM pour Driver Feedback Control. LAM RESEARCH L'outil Torus 200 gravure/cendres fournit une solution efficace, économique et consciente de l'énergie pour les exigences de fabrication des semi-conducteurs. Il convient à la gravure de dispositifs de mémoire, de couches haute tension et de couches spécialisées pour les applications ULSI. Torus 200 est un pic de performance dans l'industrie, offrant une qualité supérieure de gravure/cendres avec une excellente sélectivité et uniformité. C'est l'outil parfait pour l'industrie des semi-conducteurs dynamique d'aujourd'hui.