Occasion LAM RESEARCH Torus 200 #9376881 à vendre en France

LAM RESEARCH Torus 200 est un graveur/asher spécialement conçu pour répondre aux besoins d'un large éventail de processus d'application. Il dispose d'un équipement d'imagerie tridimensionnelle (3D) en ligne, d'un port d'observation en aval et d'un système de convoyage intégré. Cette unité multifonctionnelle de gravure et de cendrage est idéale pour la préparation de substrat à haut débit et le dépôt en couches minces dans une seule chambre. Torus 200 offre une polyvalence de traitement avancée, qui combine gravure et cendre dans la même chambre. Il comprend une machine intelligente de contrôle des gaz qui supporte jusqu'à quatre gaz de processus, permettant de multiples processus de substrat et de film en un seul cycle. L'outil de contrôle des gaz optimise les paramètres de réaction en ajustant automatiquement les conditions de gravure et d'ashing pour chaque substrat. Pour un alignement précis du substrat et un chargement et un déchargement aisés de l'outil, un moyen de transport intégré du substrat est prévu. LAM RESEARCH Torus 200 utilise un modèle d'imagerie 3D en ligne pour détecter tout défaut ou impureté sur le substrat pendant le traitement. L'équipement d'inspection automatisé peut détecter toute non-conformité entre les données programmées et l'état réel du substrat - permettant une rétroaction en temps réel pour l'exactitude et le contrôle final du processus. Le port d'observation en aval aide également à surveiller et à manipuler le processus de gravure et d'ashing. Le port offre une capacité d'observation supérieure et permet à l'utilisateur d'observer simultanément les surfaces avant, latérale et arrière du substrat. Un système unique de placement automatique (APS) est disponible pour optimiser le positionnement de l'échantillon sur le substrat-collier, en tenant compte des éventuelles irrégularités en surface. Torus 200 est équipé de dispositifs de sécurité avancés qui assurent la sécurité totale du personnel et de l'équipement. Pour améliorer encore la qualité de gravure et de cendrage, des solutions logicielles intégrées avancées sont disponibles qui permettent une intégration complète avec d'autres systèmes PrCB. La conception légère et robuste de l'unité le rend adapté à de multiples applications dans la production pilote et à grande échelle. Au total, LAM RESEARCH Torus 200 est un graveur/asher fiable et bien adapté à toute une gamme d'applications. Avec ses multiples capacités de processus, sa machine d'imagerie avancée, son outil de convoyage intégré et ses caractéristiques de sécurité, le Torus 200 répond aux besoins variés des clients en proposant des solutions de haute qualité et fiables. En outre, son poids léger et sa construction robuste le rendent idéal pour un fonctionnement continu et automatisé dans diverses conditions.