Occasion LAM RESEARCH Torus 300B #9407116 à vendre en France
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LAM RESEARCH Torus 300B est un équipement avancé de haute précision utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour le traitement des plaquettes. Le graveur est utilisé pour une variété de procédés, y compris la gravure et le polissage. Torus 300B est un outil entièrement automatisé capable de fournir des résultats très précis et reproductibles dans un large éventail de processus de gravure et de nettoyage. LAM RESEARCH Torus 300B est alimenté par un système de contrôle de gaz intégré à une chambre de réaction en boucle fermée pour un contrôle maximal des paramètres de gravure. La chambre de réaction peut être changée rapidement et facilement, ce qui permet de commuter facilement entre différentes chimies de gravure et substrats. La chambre peut être jusqu'à 1,8 L en capacité, et l'unité est conçue avec des options de gravure à basse température. Torus 300B est conçu avec une chambre de réaction très efficace pour minimiser les coûts d'exploitation. Des algorithmes avancés de contrôle des processus et du matériel amélioré ont été intégrés pour fournir des résultats hautement reproductibles avec des performances de processus exceptionnelles. Le processus de gravure peut être surveillé en temps réel grâce à l'interface graphique conviviale de la machine, permettant un contrôle total des paramètres de gravure. Le module intégré de manutention des plaquettes de l'outil permet un chargement et un déchargement rapides et précis des plaquettes, ce qui simplifie le traitement des plaquettes. L'actif peut être personnalisé avec une large gamme de fonctionnalités supplémentaires, telles que le lavage in situ et une pompe spécialisée pour le nettoyage de précision. Un ensemble sous vide avancé peut également être intégré pour optimiser la précision du processus et réduire les temps de processus. LAM RESEARCH Torus 300B est conçu pour être convivial et fiable, offrant une stabilité et une répétabilité accrues des processus. La productivité et les performances impressionnantes du modèle le distinguent des autres graveurs et cendriers du marché actuel. C'est le choix idéal pour toute installation de fabrication de semi-conducteurs cherchant à traiter les plaquettes haut de gamme de manière efficace et fiable.
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