Occasion LAM RESEARCH Torus 300B #9407118 à vendre en France

LAM RESEARCH Torus 300B est un graveur monobloc conçu pour traiter rapidement et avec précision les plaquettes de haute précision. Cet équipement est construit avec une grande sélectivité et fiabilité lui permettant de produire avec précision des structures de formes et de tailles complexes. Torus 300B fonctionne avec un contrôle précis en boucle fermée qui surveille à la fois les pressions de la chambre et les flux de gaz pour une gravure uniforme précise. Cela permet des structures précises gravées de façon différenciée avec des dimensions de motifs adaptées à un large éventail d'applications. Ces applications comprennent la lithographie avancée, la fabrication de circuits fins et de MEMS, les IC 3D (circuits intégrés 3 dimensions) et les appareils électroniques haute densité. La série de pompes à deux étages fournit un processus de gravure robuste, rapide et très précis qui augmente le débit et les rendements. Ces pompes sont rigidement montées et scellées sous vide pour réduire les vibrations potentielles, tandis que l'servocommande de positionnement haute précision incluse élimine la manutention manuelle et l'alignement. En outre, le système intègre une source de plasma brevetée intégrée auto-alignée avec un contrôle de procédé avancé pour assurer un fonctionnement haute performance. LAM RESEARCH Torus 300B offre également une large gamme de fonctionnalités avancées telles qu'un Mode Flexible Match (FMM) où l'unité suit un calendrier de processus optimal pour fournir une gravure cohérente sur les plaquettes et une fonction sélectable de réduction du temps de cycle (CTR) qui peut réduire le temps de cycle non productif jusqu'à 70 %. En outre, la machine comprend une large gamme de mécanismes de sécurité et de protection, y compris un procédé breveté ULPE (Ultra Low Particle Etch), pour assurer la protection des opérateurs contre les gaz d'échappement nocifs. Dans l'ensemble, Torus 300B est un outil de gravure fiable et avancé qui est capable de produire des motifs complexes avec une sélectivité et une uniformité précises. La série de pompes à deux étages offre des performances et une précision élevées, tandis que la source de plasma auto-alignée intégrée assure un fonctionnement performant. En outre, l'actif fournit également des mécanismes de sécurité et de protection pour assurer la sécurité des opérateurs.