Occasion LAM RESEARCH Torus 300K #9244819 à vendre en France

LAM RESEARCH Torus 300K est un équipement de pointe pour le traitement des plaquettes. Le système utilise la technologie avancée de gravure pulsée et de cendrage pour la gravure précise des plaquettes. Il est équipé d'une technique de gravure et de dépôt par impulsions (PED), qui permet une gravure précise et un cendrage à haut débit. L'unité est capable de créer des structures de ratio d'aspect élevé sur la surface de la plaquette de manière efficace et précise, en préservant les motifs cellulaires et d'autres caractéristiques sur la plaquette lors de sa fabrication. La machine comprend également un outil de dépôt chimique en phase vapeur à pression atmosphérique (APCVD) avec un large éventail de matériaux de dépôt. L'APCVD permet le dépôt de différents matériaux diélectriques avec une épaisseur soigneusement contrôlée. De plus, le nitrure de titane (TiN) est l'un des matériaux déposés les plus couramment utilisés, il permet d'optimiser le contact Schottky entre la surface de la plaquette et les électrodes construites sur celle-ci. De plus, la fonction de contrôle actif du gaz permet de minimiser l'impact environnemental en réduisant au minimum les déchets ; il est conçu pour minimiser la consommation de gaz, les déchets chimiques et l'empreinte du modèle lui-même. La chambre de plaquette de Torus 300K est de grande taille et présente une répartition uniforme des entrées et sorties. Les entrées comprennent une entrée RF, du gaz hélium et des régulateurs de débit massique, tandis que les sorties comprennent un robot de dépôt et des nettoyants liquides. Une cellule photovoltaïque, partie standard de l'équipement, est incluse pour mesurer la température de la plaquette. Le système comprend également un générateur de motifs qui fournit des motifs précis et uniformes selon les besoins des applications. En termes de conception, LAM RESEARCH Torus 300K comprend un design modulaire à double chambre innovant. Ses principales caractéristiques comprennent une purge rapide de la chambre, un refroidissement court, une rampe rapide et un contrôle RF précis. La conception à double chambre et la purge rapide de la chambre aident à réduire le risque de gradients de température dans les plaquettes semi-conductrices pendant le traitement. De plus, la commande de puissance RF permet de maítriser finement le processus de gravure pour obtenir les formes souhaitées dans la plaquette. Dans l'ensemble, Torus 300K est une unité de graveur/asher efficace et performante conçue pour répondre aux normes les plus élevées de l'industrie. Ses technologies de gravure et de cendrage de précision, associées à un contrôle RF fiable, fournissent des modèles détaillés compatibles avec les applications requises. De plus, sa conception innovante de modules à double chambre permet un ramassage rapide, une purge sûre des chambres et une courte période de refroidissement, assurant ainsi des résultats uniformes. Le haut débit et le respect de l'environnement sont deux autres avantages majeurs de la machine, ce qui la rend idéale pour divers procédés de fabrication de semi-conducteurs.