Occasion LAM RESEARCH Torus 300S #9235357 à vendre en France
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ID: 9235357
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2010
Plasma etchers, 12"
2010 vintage.
LAM RESEARCH Torus 300S est un graveur avancé de la dernière génération de produits PVD de LAM RESEARCH. Il s'agit d'un instrument vertical de référence conçu pour la gravure, le dénudage et la gravure de matériaux semi-conducteurs sensibles. Avec ses vitesses de gravure extrêmement rapides, Torus 300S offre une uniformité et une productivité supérieures. LAM RESEARCH Torus 300S est un graveur puissant et flexible qui offre un parallélisme élevé et une faible contamination par les particules. L'graveur est idéal pour diverses applications telles que la gravure de supraconducteurs, de composants MEMS et de plaquettes de silicium. Son procédé de gravure à grande vitesse convient à la fois pour le traitement par lots et monobloc, ainsi que pour le MEMS. Torus 300S est équipé d'un équipement de gravure avancé qui permet aux utilisateurs de traiter des plaquettes propres et dénudées. Il est équipé de deux chambres indépendantes, chacune capable de graver de part et d'autre de la pièce. La conception unique du système permet une uniformité complète tout au long du processus de gravure. L'unité est conçue pour être utilisée dans un environnement de traitement par lots ou monobloc. LAM RESEARCH Torus 300S est également équipé de fonctionnalités avancées pour surveiller, contrôler et ajuster le processus de gravure. Cela comprend un débitmètre intégral à quatre canaux pour une distribution optimale du gaz, ainsi qu'un régulateur de pression et de température. La machine comprend également diverses caractéristiques de sécurité telles qu'un outil d'interception, un interrupteur d'arrêt d'urgence et une alarme de protection contre la surpression. En plus des capacités de gravure, Torus 300S dispose d'un cryostat à récupération rapide, d'un actif d'imagerie haute résolution et d'un modèle PVD haute performance pour les revêtements. L'équipement d'imagerie est capable de capturer des images haute résolution de la surface gravée pour une analyse aisée. Le système PVD est un élément important de tout processus de gravure, car il aide à s'assurer que les matériaux et l'épaisseur corrects sont utilisés. LAM RESEARCH Torus 300S est un graveur puissant et fiable qui offre des performances constantes et d'excellents résultats. Sa combinaison de fonctionnalités et de capacités avancées en font un choix idéal pour ceux qui ont besoin d'une unité de gravure haute performance pour les matériaux sensibles.
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