Occasion LAM RESEARCH Torus 300S #9294018 à vendre en France

LAM RESEARCH Torus 300S est un graveur/asher de pointe qui offre des fonctionnalités sophistiquées. Ce système est le premier du genre utilisé pour fournir la combinaison de technologies de gravure et d'ashing innovantes pour le traitement de structures de dispositifs complexes. Les capacités de processus uniques qui viennent avec Torus 300S comprennent la capacité d'effectuer une gravure de qualité professionnelle et de cendre de silicium, III/V et une gamme d'autres matériaux. LAM RESEARCH Torus 300S dispose d'une chambre de gravure/cendres de grande surface avec des étages à moteur pas à pas de haute précision permettant des tailles de plaquettes plus grandes jusqu'à 8 pouces et des séquences de gravure/cendrage avancées. Les capacités de gravure et de cendrage comprennent la gravure en rotation et verticale, la gravure diélectrique et la bande, le transfert de motifs, la gravure anisotrope, la gravure des résistances et la fermeture des trous. Il dispose également de logiciels et de matériel de contrôle avancés pour le contrôle des chambres et les techniques avancées d'isolation des bords. Torus 300S etcher/asher est conçu pour répondre aux exigences les plus strictes et son contrôle de processus de haute précision assure une répétabilité pour atteindre l'uniformité à chaque étape de gravure et un débit de production supérieur. Il est doté d'une fidélité aux processus supérieure qui permet aux utilisateurs de produire des structures à < 5nm dans des environnements unidirectionnels avec les plus faibles impacts d'uniformité. De plus, sa productivité ultra élevée permet une plage d'exposition de 200 à 400 nm avec des performances critiques constantes. L'équipement convivial fournit une gamme de composants matériels intégrés et de fonctionnalités sans faille par rapport à ses prédécesseurs, ce qui en fait le système idéal pour une variété d'applications de gravure/ashing, y compris CMOS avancé, MEMS, IC de puissance, amplificateurs de puissance, RFID, MEM, MCM, et d'autres applications. Il peut également supporter des processus de gravure spécialisés tels que des caractéristiques de ratio d'aspect élevé, nanochannels, gravure à sec post-traitement et plus encore. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH Torus 300S est un graveur/asher haut de gamme doté de la technologie la plus récente et des caractéristiques exclusives qui en font l'un des meilleurs outils de gravure/ashing disponibles pour le traitement complexe de la structure des appareils. Il est idéal pour les concepteurs d'appareils qui exigent la plus grande précision, débit et fiabilité dans leurs processus.