Occasion LAM RESEARCH Vector Express #9099741 à vendre en France
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Vendu
ID: 9099741
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
CVD System, 12"
Front UI
System controller: MC3E, 02-257935-00
Module Controller: MC3E, 02-253704-00
IOC: IOC No.0, 1, 2, 3 HDSIOC
ATM Robot & controller: Brooks reliance 8 / Friction type / controller 129974
Trust controller: C-2027-D01
Main power box: 208VAC /3 Phase main 150A, full load 100A
ULPA Filter
Pod loader: 3 / Fix load 6M
LL/FE Interface PCB: 03-283968-00
ATM Door valve: (2) VAT
Chamber slit valve: (2) SMC
L/L Manometer: 10 Torr 750B 11TCE2GK
Vacuum switch
LTM type: LTM II
Preheat pedestal
Pedestal lift type: Servo motor
Vent / purge valve
L/L On-board pump: Kawasaki 27-283364-00 NV60N-2
Module type: PSIN
HF Generator: Apex 3013
LF Generator: PDX 2500
HF Auto matcher: 27-279938-00 / Navigator 10013-L80MFI 3155162-002 D
RF Distribution type: Balance kit
RPC Source: Large RPC / Astron hf-s / 27-282770-00
RPC Power supply: AX7645
Pedestal: Standard type
Showerhead
Endpoint detector: IREPD - MKS
Gas box: 02-323496-00 / SRD 200107436
MFC: Brooks SLA7950S
MFC A: N2O(L) 1500
MFC B: N2 20000
MFC C: Ar 10000
MFC 1: SiH4 1500
MFC 2: N2 10000
MFC 5: He 20000
MFC 6: NH3 20000
MFC 7: N2O(H) 25000
MFC 8: O2 30000
MFC 9: NF3 10000
Arm position detector: Local manufactured option
Gauge monitoring kit: Local manufactured option
Spindle type: Servo motor, 27-278697-00
Stn No.1 pin lift type: Servo motor
2007 vintage.
LAM RESEARCH Vector Express est un graveur/asher de nouvelle génération conçu pour répondre aux besoins des applications les plus avancées de l'industrie des semi-conducteurs. L'équipement est équipé de quatre systèmes de gravure et de cendrage puissants, chacun capable de graver indépendamment et de cendres une variété de matériaux. Les systèmes de gravure et de cendrage sont conçus de façon unique avec des systèmes de commande automatisés de grande puissance pour fournir des résultats fiables et précis. Ce système permet à l'utilisateur d'exploiter plusieurs systèmes de gravure et de cueillette simultanément, en travaillant ensemble pour générer les résultats de gravure et de cueillette de la plus haute qualité. L'unité de contrôle automatisé fournit une interface utilisateur simple avec des menus intuitifs, permettant à l'utilisateur de contrôler les processus de gravure et de cueillette en toute confiance. La machine est conçue pour utiliser une large gamme de recettes de gravure et de cueillette, garantissant que l'utilisateur peut atteindre les étapes de processus souhaitées. L'outil utilise également des fonctions de contrôle avancées, telles que des vitesses de gravure variables, des paramètres programmables de température et de pression, et des débits de gaz variables. L'actif intègre également des outils de diagnostic pour surveiller le processus de gravure et de cueillette, permettant un meilleur contrôle de la qualité. Vector Express utilise des dispositifs de sécurité améliorés pour assurer la cohérence et la précision du processus de gravure et de cueillette. Il utilise un procédé de construction de chambre unique qui isole les composants sensibles de l'environnement dur de la chambre, assurant que les processus de gravure et de cueillette peuvent être effectués sans causer de dommages à la chambre. Le modèle comprend également un joint étanche aux vapeurs unique pour empêcher tout produit chimique dangereux utilisé dans le processus de gravure et de cueillette d'entrer dans la zone de travail. L'équipement comprend également un outil de diagnostic puissant qui fournit des rapports en temps réel sur le processus de gravure et de cueillette, permettant à l'utilisateur de surveiller et d'ajuster les paramètres de gravure et de cueillette en conséquence. Cet outil de diagnostic permet un dépannage rapide et fournit à l'utilisateur une rétroaction sur les performances du système. Cette rétroaction en temps réel permet à l'utilisateur d'optimiser l'unité pour obtenir des résultats de gravure et de cueillette de la plus haute qualité. LAM RESEARCH Vector Express offre également des capacités de performance améliorées qui réduisent le coût de possession de la machine. Il nécessite peu ou pas d'entretien manuel, et ses caractéristiques d'auto-calibrage garantissent une qualité et une fiabilité constantes. Sa conception modulaire permet d'intégrer des systèmes de gravure et de cendrage supplémentaires, tout en offrant une flexibilité permettant de dimensionner l'outil en fonction des besoins de l'utilisateur. Vector Express est un outil performant et très fiable qui fournit des solutions de gravure et d'ashing pour répondre aux applications les plus exigeantes de l'industrie des semi-conducteurs. Ses caractéristiques avancées et sa flexibilité lui permettent de rester partie intégrante de toute ligne de production du fabricant de semi-conducteurs.
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