Occasion LAM RESEARCH Vector Express #9099741 à vendre en France

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ID: 9099741
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
CVD System, 12" Front UI System controller: MC3E, 02-257935-00 Module Controller: MC3E, 02-253704-00 IOC: IOC No.0, 1, 2, 3 HDSIOC ATM Robot & controller: Brooks reliance 8 / Friction type / controller 129974 Trust controller: C-2027-D01 Main power box: 208VAC /3 Phase main 150A, full load 100A ULPA Filter Pod loader: 3 / Fix load 6M LL/FE Interface PCB: 03-283968-00 ATM Door valve: (2) VAT Chamber slit valve: (2) SMC L/L Manometer: 10 Torr 750B 11TCE2GK Vacuum switch LTM type: LTM II Preheat pedestal Pedestal lift type: Servo motor Vent / purge valve L/L On-board pump: Kawasaki 27-283364-00 NV60N-2 Module type: PSIN HF Generator: Apex 3013 LF Generator: PDX 2500 HF Auto matcher: 27-279938-00 / Navigator 10013-L80MFI 3155162-002 D RF Distribution type: Balance kit RPC Source: Large RPC / Astron hf-s / 27-282770-00 RPC Power supply: AX7645 Pedestal: Standard type Showerhead Endpoint detector: IREPD - MKS Gas box: 02-323496-00 / SRD 200107436 MFC: Brooks SLA7950S MFC A: N2O(L) 1500 MFC B: N2 20000 MFC C: Ar 10000 MFC 1: SiH4 1500 MFC 2: N2 10000 MFC 5: He 20000 MFC 6: NH3 20000 MFC 7: N2O(H) 25000 MFC 8: O2 30000 MFC 9: NF3 10000 Arm position detector: Local manufactured option Gauge monitoring kit: Local manufactured option Spindle type: Servo motor, 27-278697-00 Stn No.1 pin lift type: Servo motor 2007 vintage.
LAM RESEARCH Vector Express est un graveur/asher de nouvelle génération conçu pour répondre aux besoins des applications les plus avancées de l'industrie des semi-conducteurs. L'équipement est équipé de quatre systèmes de gravure et de cendrage puissants, chacun capable de graver indépendamment et de cendres une variété de matériaux. Les systèmes de gravure et de cendrage sont conçus de façon unique avec des systèmes de commande automatisés de grande puissance pour fournir des résultats fiables et précis. Ce système permet à l'utilisateur d'exploiter plusieurs systèmes de gravure et de cueillette simultanément, en travaillant ensemble pour générer les résultats de gravure et de cueillette de la plus haute qualité. L'unité de contrôle automatisé fournit une interface utilisateur simple avec des menus intuitifs, permettant à l'utilisateur de contrôler les processus de gravure et de cueillette en toute confiance. La machine est conçue pour utiliser une large gamme de recettes de gravure et de cueillette, garantissant que l'utilisateur peut atteindre les étapes de processus souhaitées. L'outil utilise également des fonctions de contrôle avancées, telles que des vitesses de gravure variables, des paramètres programmables de température et de pression, et des débits de gaz variables. L'actif intègre également des outils de diagnostic pour surveiller le processus de gravure et de cueillette, permettant un meilleur contrôle de la qualité. Vector Express utilise des dispositifs de sécurité améliorés pour assurer la cohérence et la précision du processus de gravure et de cueillette. Il utilise un procédé de construction de chambre unique qui isole les composants sensibles de l'environnement dur de la chambre, assurant que les processus de gravure et de cueillette peuvent être effectués sans causer de dommages à la chambre. Le modèle comprend également un joint étanche aux vapeurs unique pour empêcher tout produit chimique dangereux utilisé dans le processus de gravure et de cueillette d'entrer dans la zone de travail. L'équipement comprend également un outil de diagnostic puissant qui fournit des rapports en temps réel sur le processus de gravure et de cueillette, permettant à l'utilisateur de surveiller et d'ajuster les paramètres de gravure et de cueillette en conséquence. Cet outil de diagnostic permet un dépannage rapide et fournit à l'utilisateur une rétroaction sur les performances du système. Cette rétroaction en temps réel permet à l'utilisateur d'optimiser l'unité pour obtenir des résultats de gravure et de cueillette de la plus haute qualité. LAM RESEARCH Vector Express offre également des capacités de performance améliorées qui réduisent le coût de possession de la machine. Il nécessite peu ou pas d'entretien manuel, et ses caractéristiques d'auto-calibrage garantissent une qualité et une fiabilité constantes. Sa conception modulaire permet d'intégrer des systèmes de gravure et de cendrage supplémentaires, tout en offrant une flexibilité permettant de dimensionner l'outil en fonction des besoins de l'utilisateur. Vector Express est un outil performant et très fiable qui fournit des solutions de gravure et d'ashing pour répondre aux applications les plus exigeantes de l'industrie des semi-conducteurs. Ses caractéristiques avancées et sa flexibilité lui permettent de rester partie intégrante de toute ligne de production du fabricant de semi-conducteurs.
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