Occasion LAM RESEARCH Vector Express #9137283 à vendre en France

LAM RESEARCH Vector Express est un graveur haute performance (aussi communément appelé asher) conçu pour les besoins de traitement au niveau des plaquettes. Il est utilisé pour une variété d'applications de pointe de gravure de technologie, tels que le travers de silicium-via (TSV), l'emballage de semi-conducteurs, MEMS, et les composants optiques. Vector Express utilise la technologie de gravure électrochimique induite par la lumière (LIEE), un procédé de gravure légère qui peut être utilisé sur une variété de substrats sans endommager ou éliminer les films sous-jacents. LAM RESEARCH L'équipement Vector Express est capable de gravure de haute précision dans des conditions contrôlées, obtenant des motifs extrêmement précis jusqu'à 10 nm et les facteurs de gravure nécessaires pour la fabrication de dispositifs à haut rendement. Il permet de régler différentes conditions, telles que les paramètres d'impulsions de gravure, l'intensité de la source lumineuse et le type de gaz pour chaque échantillon ou produit chimique, permettant ainsi des performances de gravure optimales pour chaque substrat. Le procédé principal et le four utilisent une chambre à vide pour réduire le nombre de particules et la contamination du procédé. Vector Express est régulé en température, avec contrôle de température lié au thermocouple. Cette caractéristique garantit la stabilité de la température, ce qui est essentiel pour des processus de gravure uniformes et la production de dispositifs de haute qualité. Le système utilise également une unité de refroidissement automatisée pour l'efficacité temporelle, éliminant la nécessité d'attendre la fin du cycle de refroidissement et permettant un traitement sans arrêt. La machine offre également des solutions automatisées et d'interface utilisateur, telles que le contrôle de résistivité, le contrôle de recette et la surveillance complète du processus, pour garantir la précision et la répétabilité. En outre, l'outil offre des diagnostics intégrés de processus incluant la détection et l'analyse de spectres d'émission optique, ainsi que des capacités d'imagerie telles que la microscopie électronique à balayage (SEM) et l'imagerie par angle de contact (CAI). LAM RESEARCH Vector Express est conçu pour répondre aux besoins de processus exigeants de la recherche scientifique et de la fabrication industrielle. L'actif est certifié ISO 9001 et ISO 14001, et répond aux exigences strictes de sécurité et de qualité énoncées par les normes de l'industrie.