Occasion LAM RESEARCH Vector Extreme #9315263 à vendre en France

LAM RESEARCH Vector Extreme est un graveur/asher haut de gamme. Il est capable d'exposer des caractéristiques denses sur des substrats avancés tels que des plaquettes de silicium, des matériaux semi-conducteurs composés et des milieux optiques. Sa source de plasma à couplage inductif avancé (ICP) et sa conception à la fine pointe de la technologie fournissent un débit élevé et une uniformité de gravure exceptionnelle avec les normes les plus élevées de répétabilité et de précision des processus. Cet etcher est équipé d'un large spectre de gaz de procédé, y compris l'oxygène (O2), le chlore (Cl2), le trichlorure de bore (BC1), l'hexafluorure de soufre (SF6) et le bromure d'hydrogène (HBr). La précision de l'équipement de distribution de gaz avec Vector Extreme permet un contrôle précis de la composition optimale du gaz pour la meilleure qualité de gravure. LAM RESEARCH Vector Extreme est un graveur modulaire qui permet une mise à niveau facile des modules de processus tels qu'une mise à niveau de loadlock pour accueillir des substrats plus grands et plus grands, une mise à jour de la résonance cyclotron électronique (ECR) pour les temps de gravure étendus, et une mise à niveau du système OPD (Advanced Optical Endpoint Detection) pour la détection de fin en temps réel pendant la gravure. Vector Extreme permet un nettoyage et un prétraitement avancés des substrats avec ses dégazages intégrés et ses outils propres, et offre un contrôle de haute précision sur les paramètres du processus de gravure pour des résultats optimisés. LAM RESEARCH Vector Extreme est équipé d'une unité de filtrage spatial pour minimiser la contamination des particules chargées en séparant les électrons entrants dans le plasma et en filtrant les particules des radicaux réactifs dans le plasma. Sa machine de tête de douche à gaz de pointe assure une répartition uniforme de la feuille de plasma sur la surface du substrat, ce qui entraîne une exposition uniforme de l'graveur sur le substrat. Vector Extreme est compatible avec des plaquettes de différentes tailles dont 300mm et 200mm. LAM RESEARCH Vector Extreme dispose également d'une interface utilisateur informatique et graphique haute performance pour surveiller, stocker, accéder et suivre les recettes de gravure. Il surveille et recueille des données telles que la température, le temps, la puissance RF, la densité du plasma, etc. pour optimiser le processus de gravure et éviter les anomalies potentielles. Vector Extreme est un graveur puissant qui est idéal pour les gravures ultra-peu profondes ou profondes, et des applications de ratio d'aspect élevé. Il est parfait pour la production, la R&D et les applications de recherche avancées.