Occasion LAM RESEARCH Vector Extreme #9315265 à vendre en France
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ID: 9315265
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2014
CVD System, 12"
2014 vintage.
LAM RESEARCH Vector Extreme est un système de gravure conçu pour répondre aux besoins de l'industrie de fabrication de semi-conducteurs. Cet outil de gravure est très configurable et offre un dépôt précis pour une grande variété de matériaux. Il utilise des techniques combinées de gravure, de dépôt et de plasma d'azote pour obtenir des rendements optimaux et améliorer la qualité des gravures. Il est conçu avec le dernier modèle de la technologie avancée des sources de plasma, qui fournit une plus grande précision, des économies de coûts et une excellente uniformité de gravure. En outre, il offre une interface utilisateur flexible et intuitive qui permet une configuration et un fonctionnement faciles. Vector Extreme est conçu avec une source de gravure biplan qui fournit à chaque chambre de gravure sa propre source de gravure indépendante. Cela garantit le plus haut degré de précision de gravure sur une gamme de matériaux avec une répétabilité et une uniformité supérieures. Il est également équipé d'une source de magnétron de faible puissance complétant le processus de gravure. Cela permet de minimiser la consommation d'énergie tout en maintenant un processus de gravure optimal. L'outil contient également un module de contrôle de vitesse unique qui permet de personnaliser les paramètres de gravure et de dépôt en fonction des exigences spécifiques du procédé. LAM RESEARCH Vector Extreme utilise une combinaison de gravure et de dépôt pour atteindre les profils de gravure souhaités. Ceci est obtenu grâce à une technologie unique de séquence dynamique de gravure sous vide (DVES) qui ajuste les taux de gravure et les profils de dépôt pour un rendement optimal, la stabilité et la reproductibilité. Il s'appuie également sur un procédé AZE (NPAZE) pour offrir une flexibilité et un contrôle inégalés sur le processus d'élimination des nitrures. Le système offre également des techniques avancées de compensation des buses qui permettent une gravure plus précise et répétable. Ceci est rendu possible en complétant les sources de gravure par un contrôle avancé de la buse, ce qui permet une meilleure répétabilité et des rendements améliorés. Cela permet également des taux de gravure plus précis et précis. Vector Extreme offre également une intégration avec d'autres modules d'outils, contribuant à réduire les coûts et à améliorer l'optimisation des processus. Il peut être utilisé avec la technologie ExpsantéTM, qui permet de piloter les processus de gravure en temps réel. Cela permet de réduire le temps de production et d'améliorer l'utilisation de la machine, ce qui permet des processus plus rapides et plus précis. Ce système est doté d'un large éventail de caractéristiques et d'avantages, ce qui le rend idéal pour une variété d'applications de processus et de produits. Il est hautement configurable et offre des capacités de gravure de précision, permettant aux utilisateurs d'obtenir un rendement et des performances optimaux avec le minimum de ressources. Grâce à ses techniques avancées de gravure et de dépôt, LAM RESEARCH Vector Extreme est en mesure de répondre aux exigences les plus exigeantes en matière de gravure de précision.
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