Occasion LAM RESEARCH Versys Kiyo #9223498 à vendre en France

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ID: 9223498
Taille de la plaquette: 12"
Chamber and gas box, 12" Pump and chiller does not include.
LAM RESEARCH Versys Kiyo est un graveur/asher qui offre une précision de coupe supérieure. Il est un graveur/asher haute performance avec une excellente productivité et une durabilité fiable et est couramment utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Versys Kiyo utilise une technologie unique à double extrémité de type disque qui peut efficacement graver et asher une grande variété de matériaux avec précision et précision. RECHERCHE LAM Versys Kiyo dispose d'une source d'ions à trois zones dans laquelle un arc asymétrique est formé entre deux électrodes pour créer un faisceau focalisé d'ions. Ce faisceau focalisé permet la gravure précise et la cueillette de petites caractéristiques. Versys Kiyo comprend également une large gamme de gaz pour la gravure et le cendrage, tels que le fluorocarbone, l'oxygène, le chlore, l'azote et le SF6. La source de gaz haute pression assure que chaque gaz atteint sa pression optimale avant d'atteindre le substrat, ce qui se traduit par une gravure et une cueillette uniformes du matériau. RECHERCHE LAM Versys Kiyo allie une grande précision, une excellente productivité et une durabilité fiable. Le processus de gravure et de cueillette est extrêmement précis et le débit de gaz est régulé pour assurer un résultat cohérent, même dans de petites caractéristiques. Versys Kiyo prend en charge les opérations en série ou en ligne ainsi que les opérations multi-chambres pour une efficacité de production maximale. Le logiciel intuitif et le fonctionnement convivial rendent LAM RESEARCH Versys Kiyo simple et facile à utiliser pour les opérateurs. En outre, Versys Kiyo est équipé de fonctions de sécurité avancées telles que la protection contre les surtensions et les surtensions, l'arrêt automatique du système et une clé de verrouillage pour une sécurité accrue. RECHERCHE LAM Versys Kiyo offre un haut niveau de répétabilité et d'uniformité pour assurer une gravure et une cueillette cohérentes des matériaux. Versys Kiyo est un excellent choix pour la gravure et l'ashing dans une large gamme de diélectriques, polymères et semi-conducteurs.
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