Occasion LFE APE-110 #293631690 à vendre en France
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ID: 293631690
Taille de la plaquette: 4"
Plasma cleaners, 4"
Intel 8052 microprocessor
Digital mass flow control
Pump 23cfm not included
Digital metering:
RF Power
Chamber pressure
Flow rate: 1/2 1500 SCCM
Frequency: 13.56 MHz
Process gas: 5 PSIG, 35 kPa
Compressed air: 65-85 PSIG, 450-858 kPa
Power supply: 115 VAC, 50/60 Hz, 15 A.
LFE APE-110 est un graveur/asher dynamique conçu pour graver/ashe une variété de substrats avec une température maximale de traitement de 1100 ° C Il offre une interface conviviale et est compatible avec les matériaux en vrac ou les plaquettes jusqu'à 6 "de diamètre. APE-110 dispose d'un système de verrouillage de la charge de 11 zones qui permet le chargement et le déchargement rapides et efficaces des substrats pour le traitement, ainsi que d'un système de surveillance de la température de la chambre pour un contrôle précis de la température. Un étage en quartz de haute précision avec une résolution de 0,5µm offre une gravure et une cendre haute résolution. Les résultats réalisables du procédé comprennent la gravure de silice sous-micron et la gravure d'oxyde comparable ainsi que la gravure et le cendrage de silicium de haute qualité. La fonction de gravure physique 3D propriétaire de LFE APE-110 permet à l'utilisateur de graver des caractéristiques tridimensionnelles sans résidus, telles que des tranchées et des motifs, sur des substrats difficiles à graver. En outre, APE-110 possède des chambres diélectriques et en acier inoxydable, qui minimisent la contamination par les impuretés qui peut se produire pendant la gravure/le cendrage. LFE APE-110 est alimenté par une interface de programmation puissante, offrant aux utilisateurs la possibilité de « composer » leurs paramètres de processus et de créer des recettes complexes pour assurer des résultats reproductibles et cohérents. APE-110 dispose également d'une source RF intégrée, qui fournit une source d'énergie alternative pour des opérations de gravure/cendres plus sélectives. Dans l'ensemble, LFE APE-110 offre une gravure et un cendrage de haute qualité de divers substrats, associés à une interface utilisateur intuitive et à de puissants outils de contrôle des processus. Ce graveur/asher permet aux utilisateurs d'atteindre une précision de sous-micron et de produire de façon fiable des résultats de gravure et de cueillette de haute qualité rapidement et avec précision.
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