Occasion LFE PFS-PDE-PDS 501 & 504 #83002 à vendre en France

LFE PFS-PDE-PDS 501 & 504 est un type de graveur et asher conçu par Lam Systems Ltd, un fournisseur d'outils de traitement à haute température supérieure. Cet etcher sec est principalement utilisé pour l'enlèvement de différentes couches minces de matériau d'un substrat et pour le dépôt de couches minces de matériau sur le substrat. Le PFS-PDE-PDS 501 et 504 utilise un mélange multi-gaz de différents gaz, qui sont envoyés à la chambre de travail par un certain nombre d'entrées. Un type d'injecteur multi-gaz est utilisé pour permettre un contrôle précis du mélange gazeux. Le venturi interne permet la création de modèles d'écoulement de gaz appropriés pour assurer une gravure et un cendrage uniformes. Cet équipement comporte également deux chambres à vide motorisées indépendantes, une chambre supérieure et une chambre inférieure, qui sont reliées à une vanne spécialisée. Cette vanne permet un contrôle précis des chambres supérieure et inférieure. La chambre supérieure est principalement utilisée pour le dépôt de substrat tandis que la chambre inférieure est principalement utilisée pour la gravure de substrat. Le système est conçu pour fournir des taux de gravure et de dépôt élevés ainsi qu'un contrôle précis du processus. Il est entièrement programmable avec une unité de commande informatisée. Cette machine permet un contrôle automatique de la vitesse, de la pression et de la température du dispositif. Il fournit également une notification d'alarme lorsque le processus devient trop lent ou rapide. LFE PFS-PDE-PDS 501 & 504 est un graveur et asher fiable et polyvalent qui offre des performances supérieures pour l'élimination de couches minces de matériau des substrats et pour le dépôt de couches minces de matériau sur des substrats. Il est adapté à un large éventail d'applications, y compris la gravure de plaquettes semi-conductrices, la fabrication de dispositifs MEMS, et la gravure plasma de photovoltaïque organique.