Occasion MARCH AP 1000 #9267760 à vendre en France
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MARCH AP 1000 est un graveur/asher conçu pour le traitement de banc semi-conducteur. C'est une solution fiable et peu coûteuse pour les projets à petite échelle, permettant à un seul utilisateur de tracer rapidement et avec précision et d'enlever le matériau avec précision. MARCH AP1000 est un graveur/asher de référence qui utilise un générateur RF et un système d'entraînement mécanique pour transférer la pièce à graver sur le plateau monté de la chambre de nettoyage plasma ou IIR. Une source d'ions à arc cathodique, associée à un moniteur de processus intégré, fournit une solution de gravure efficace à des vitesses allant jusqu'à 1000 MHz. Les processus de gravure et d'ashing sont contrôlés via un panneau de contrôle facile à utiliser, qui permet une configuration rapide et des changements de paramètres. L'installation intégrée de collecteur de gaz permet le traitement de divers gaz, tels que SF6 et CF4, tandis que l'utilisation d'un système d'obturation à 4 quadrants permet le traitement de jusqu'à cinq parties simultanément. Ceci permet d'améliorer encore la vitesse du processus de gravure. AP-1000 comprend de nombreuses fonctionnalités avancées telles qu'une option d'adaptation de prétraitement de l'échantillon, des soufflantes de refroidissement, la surveillance du processus, l'élimination des défauts et un entretien facile. L'unité comprend un moniteur de puissance, fournissant la précision pendant le contrôle de la pression et de la température, ainsi que la surveillance de la tension. De plus, l'ouverture de 500 mm (20 pouces) offre un accès facile aux échantillons, ce qui permet de les traiter avec une interruption minimale. Dans l'ensemble, MARCH AP-1000 est un graveur/asher idéal pour une variété de procédés semi-conducteurs. C'est une solution fiable et peu coûteuse pour les projets à petite échelle, permettant à un seul utilisateur de tracer rapidement et avec précision et d'enlever le matériau avec précision. Le système est facile à utiliser et ses fonctionnalités automatisées permettent une production rapide et efficace.
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