Occasion MARCH CS 1701 #9268939 à vendre en France

MARS CS 1701 est un graveur/asher entièrement automatique conçu pour supporter des systèmes connectés nécessitant une microfabrication de haute précision. Ses caractéristiques comprennent une large gamme de processus allant de 0,5 à 10 microns pour les processus de gravure et d'ashing tandis que sa précision et sa répétabilité garantissent une qualité de matériau maximale. L'équipement peut être utilisé pour des applications telles que la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, MEMS, biopuces, cartes de circuits imprimés et panneaux d'affichage. L'Etcher/Asher est doté d'un design modulaire qui permet d'améliorer la productivité et la flexibilité. Il est capable de supporter deux modes de processus : batch et single-wafer. Le traitement par lots est utilisé lorsque de grands volumes de pièces doivent être traités, tandis que le traitement par tranche unique présente un grand avantage pour les petits lots ou pour les procédés de haute précision. L'Etcher/Asher peut supporter une variété de gaz de procédé, y compris le chlore, l'oxygène, l'hexafluorure de soufre, l'azote, l'hélium et l'hydrogène. Il supporte également différents matériaux de substrat dont l'aluminium, le cuivre, le silicium et l'arséniure de gallium. Le contrôle précis des conditions du procédé, y compris la pression, la température et la concentration, permet d'optimiser les paramètres du procédé pour obtenir les meilleurs résultats. En plus du processus de gravure et d'ashing, le système dispose également de capacités de surveillance en temps réel pour améliorer la surveillance des processus et la collecte de données. Il peut mesurer et communiquer la pression, la température et le débit de chaque chambre, ainsi que le niveau d'électrolyte et le courant dans les réservoirs de gravure. Ceux-ci peuvent également être affichés via une interface tactile où l'utilisateur peut accéder à des informations supplémentaires telles que le temps total de traitement, le temps écoulé, la pression instantanée, la température et le débit de chaque chambre. L'unité est également équipée d'un ensemble de dispositifs de sécurité pour assurer un fonctionnement sûr du processus. Ceux-ci comprennent des capteurs de pression et des emboîtements dans chaque chambre, ainsi que des capteurs de température et de débit avec notification d'alarme. La porte de la chambre peut également être accessible à distance pour s'assurer que tout le personnel est hors de la zone lorsque la porte de la chambre est ouverte. De plus, la technologie de détection des fuites surveille les scellements de la chambre pour protéger le personnel et le produit contre les fuites dangereuses. La machine peut être intégrée dans une large gamme de systèmes d'automatisation pour garantir l'efficacité globale du contrôle des processus. Cela permet une plus grande flexibilité et la capacité de rationaliser l'ensemble du processus. L'outil dispose également de capacités de commande de mouvement haute performance pour des mouvements précis et un contrôle de position précis. Il est conçu pour une configuration et un fonctionnement faciles afin de minimiser les temps d'arrêt et d'améliorer l'efficacité.