Occasion MARCH FLEXTRAK-2MB #9185980 à vendre en France
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ID: 9185980
Style Vintage: 2014
Plasma cleaners
Multiple inline plasma modules
Uniform plasma treatment
Dual lane boat handling
Ideal for pre-flip-chip underfill
(3) Axes symmetrical plasma chamber
(2) Boats/plasma cycles
Chamber maximum volume: 5.5 liters (338 in³)
Plasma processes:
Pre-flip chip underfill
Pre-die attach
Pre-wire bond
Pre-mold steps
Plasma contamination removal & cleaning:
Fluorine & other halogens
Metals & metal oxides
Organic compounds
Electrodes:
Variable electrode configurations:
Power-ground
Ground-power
Power-power
Working area: 305W x 305D mm (12W x 12D in.)
RF Power:
Standard wattage: 600 W
Frequency: 13.56 MHz
Gas control:
Flow volumes: 10, 25, 50, 100, 250 or 500 sccm
(4) MFCs
Control & interface:
Software control: EPC with PC-Based touch screen interface
Remote interface: SMEMA, SECS/GEM
Vacuum pump:
Standard dry pump: 16 cfm
Optional wet pump: 19.5 cfm
Optional purged dry pump: 16 cfm
N2 Purged pump flow: (2) slm
Process gas fitting size & type: 6.35 mm (0.25 in.) OD SWAGELOK Tube
Process gas purity: Lab or electronic grade
Process gas pressure: 0.69 bar (10 psig) min. to 1.03 bar (15 psig) max
Purge gas fitting size & type: 6.35 mm (0.25 in.) OD SWAGELOK Tube
Purge gas purity: Lab or electronic grade N2/CDA
Purge gas pressure: 2 bar (30 psig) min to 6.9 bar (100 psig) max
Pneumatic valves fitting size & type: 6.35 mm (0.25 in.) OD SWAGELOK Tube
Pneumatic gas purity:
CDA
Oil free
Dewpoint: ≤7°C (45°F)
Particulate size: <5μm
Pneumatic gas pressure: 3.45 bar (50 psig) min to 6.89 bar (100 psig) max
Exhaust: 25.4 mm (1 in.) OD Pipe flange
SEMI: E10, S2/S8 (EH&S/Ergonomics)
Gas generators: Nitrogen, hydrogen (requires additional non-optional hardware)
Chiller
Scrubber
Power supply: 220 VAC, 15A, 50/60 Hz, 1-Phase, 12 AWG, 3-Wire
CE Marked
2014 vintage.
MARCH FLEXTRAK-2MB est un graveur/asher conçu pour les environnements de production en salle blanche dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est capable de reproduire des images photorésistantes sur des plaquettes semi-conductrices ou d'autres substrats à une résolution de 5 microns. Ce graveur/asher de pointe offre un certain nombre d'avantages uniques par rapport aux autres solutions de gravure disponibles. MARCH FLEXTRAK 2MB dispose d'une grande surface de travail de 14 pouces, permettant un large éventail de traitements de résines photosensibles. Il supporte des motifs aléatoires et uniformes, y compris des formes de lignes, des rectangles, des cercles et des ellipses. Cela garantit que les images peuvent être produites avec un niveau élevé de précision et de précision. FLEXTRAK-2MB est équipé de circuits logiques programmables avancés, permettant de modifier facilement ses paramètres de gravure. Cela signifie que le procédé de gravure peut être adapté aux exigences spécifiques d'une application donnée. En ajustant le temps de gravure, la résolution, la puissance et d'autres paramètres, il est possible d'obtenir une répétabilité, une uniformité et une qualité d'image supérieures. FLEXTRAK 2MB offre un certain nombre de caractéristiques de sécurité. Pour assurer une sécurité maximale pendant le fonctionnement, l'unité est équipée d'une capacité d'arrêt d'urgence, d'un système automatisé de pinces pour la manutention des plaquettes et d'un verre de sécurité rétroéclairé pour la surveillance. L'etcher/asher dispose également d'un système de refroidissement unique pour protéger les surfaces des plaquettes délicates contre la surchauffe. MARCH FLEXTRAK-2MB est livré avec une large gamme d'options de programmation d'applications, permettant une automatisation facile du processus de gravure photorésist. Les utilisateurs peuvent utiliser une variété de logiciels propriétaires pour améliorer le débit et la qualité des processus, tout en utilisant les fonctionnalités avancées de MARCH FLEXTRAK 2MB. Enfin, FLEXTRAK-2MB est conçu avec une faible consommation d'énergie pour aider à réduire l'impact environnemental. Cela le rend parfait pour les environnements de recherche et de production où l'efficacité énergétique est une priorité. En conclusion, FLEXTRAK 2MB est un choix idéal pour toute opération de gravure nécessitant une haute résolution, précision et répétabilité. Avec ses caractéristiques avancées et sa faible consommation d'énergie, il est un choix idéal pour la production en salle blanche, la recherche, ou d'autres applications de l'industrie.
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