Occasion MARCH FlexTRAK-SH #9232254 à vendre en France

MARCH FlexTRAK-SH est un graveur/asher conçu pour les laboratoires de microfabrication, avec une large gamme d'applications pour ses utilisateurs. L'équipement dispose d'un haut niveau de précision, avec un contrôle automatique programmable Recipe ainsi que des trajectoires standard de rotation et de plaquette. Il est également entièrement intégré à MARCH 'Trak-Tool.' Cela permet la manipulation des plaquettes et le développement des recettes de gravure sans aucune programmation. Le système est également peu entretenu et facile à utiliser. FlexTRAK-SH présente la conception de chambre 'Helios' qui comprend deux sources de plasma à couplage inductif RF. Cela permet de graver les processus PECVD et PE-CVD tels que LPCVD, LPCVD OIS, OLED et ECR. Cela permet également aux utilisateurs d'atteindre une densité et une uniformité plasmatiques très élevées, même avec de petites tailles de plaquettes. La chambre 'Helios' dispose également d'une option de ligne de balayage en z-vol, pour la gravure uniforme de grandes plaquettes avec de grands rapports d'aspect. MARS FlexTRAK-SH fournit également des taux de gravure variables, et a la capacité de graver des matériaux tels que l'oxyde, le nitrure, le silicium polycristallin, les métaux et les alliages métalliques. Il est également capable de graver des plaquettes jusqu'à 12 pouces de diamètre. L'unité est équipée de systèmes de sécurité hors enveloppe pour assurer la sécurité des utilisateurs, ainsi que pour prévenir les fuites chimiques. Le graveur/asher dispose également d'une gamme de capteurs de processus qui détectent la pression, la température et les niveaux de O2, qui assurent le contrôle précis du processus de gravure. FlexTRAK-SH est un outil puissant et polyvalent, facile à utiliser et adapté à un large éventail d'applications en laboratoire. Il fournit un niveau élevé de précision et de précision avec des recettes personnalisables et des outils logiciels, pour assurer des résultats fiables et reproductibles. La performance de la machine est encore améliorée par son design avancé de chambre « Helios », qui assure une production de vitesse de gravure régulière et uniforme. L'etcher/asher dispose également d'une série de mesures de sécurité pour assurer la sécurité de ses utilisateurs.