Occasion MARCH Plasmod #9100079 à vendre en France
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ID: 9100079
Etcher
100 W Generator
Vacuum Tube RF source
Manual tune / Auto tune
Quartz outer chamber
Pyrex inner chamber
GCM 200 with (2) gas control.
MARCH Plasmod est un graveur/asher conçu pour la recherche et le développement de matériaux de pointe pour de nombreuses applications allant de la technologie des semi-conducteurs aux instruments médicaux. Le processus d'ashing est utilisé pour créer des couches de couches minces uniformes, éliminant les composants indésirables des surfaces du substrat, permettant un contrôle précis des dimensions et des caractéristiques des couches minces. Le processus de gravure et de cueillette utilise des mélanges de gaz qui combinent précisément la température, la pression et le débit pour éliminer et ou réduire les matériaux indésirables. Les composants de base de Plasmod sont la chambre de procédé, la pré-douche, les chauffages, les sources de gaz, le collecteur de gaz, l'unité de refroidissement et les électrovannes de commande. La conception modulaire du graveur/asher polyvalent permet aux utilisateurs de choisir parmi une grande variété d'options de processus qui peuvent être adaptées pour créer une application spécifique. MARS Plasmod etcher/asher dispose d'une technologie de chauffage avancée qui permet un contrôle précis de la température, du nettoyage et du processus de gravure. Il dispose également d'une chambre multi-processus avec des capacités de chauffage résistives et inductives variables, ainsi que de quatre conduites de gaz indépendantes pour un contrôle complet du processus. La taille de la chambre est optimisée avec des débits de gaz sélectionnables allant de 0 à 3300 SCCM, ce qui la rend parfaite pour un petit lot ou un grand traitement de production. Plasmod utilise des matériaux avancés pour sa construction et dispose d'un intérieur en acier inoxydable résistant à la corrosion et à haute dépression pour une durabilité maximale. MARCH Plasmod utilise également des fonctions programmables conviviales qui permettent un contrôle rapide et précis des paramètres du processus. Il est disponible dans les styles d'unités fermées et ouvertes disponibles pour accueillir diverses applications. L'équipement Plasmod offre de nombreuses fonctions avancées pour garantir des processus précis, reproductibles et économiques. Son interface graphique intuitive est conçue pour ajuster facilement les paramètres complexes du processus d'ashing. Le système dispose également d'un contrôle automatisé des processus, de nombreuses fonctions programmables et d'une surveillance complète des alarmes de circuit pour augmenter la productivité et la rentabilité. De plus, MARCH Plasmod comprend des dispositifs de sécurité avancés pour protéger les utilisateurs contre les expositions accidentelles à des matières dangereuses. Dans l'ensemble, Plasmod etcher/asher est une unité avancée et fiable conçue pour la recherche et le développement de matériaux avancés. Il dispose d'une conception modulaire, interface graphique intuitive conviviale, contrôle de processus avancé, contrôle de processus automatisé, et de nombreuses fonctionnalités de sécurité. MARCH Plasmod est une machine idéale pour ceux qui recherchent un processus de gravure et de cueillette fiable et économique pour une variété d'applications.
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