Occasion MARCH PM-600 #9118779 à vendre en France

MARS PM-600 est un graveur/asher de plasma autosuffisant idéal pour la production industrielle et les utilisations scientifiques/de recherche. En tant que procédé de gravure/cueillette plasma très efficace, PM-600 est conçu pour une gravure/cueillette précise, rapide et sûre des substrats inoxydables et non métalliques. L'équipement est équipé d'une chambre à vide à trois étages et est entraîné par une pompe rotative à faible vitesse à entraînement direct pour des performances supérieures. La chambre est équipée d'un système intégré de détection de l'ozone qui permet une mesure simple et précise de la contamination résiduelle par l'ozone dans l'unité sous vide pendant le processus de gravure/cueillette. MARCH PM-600 utilise un étage de balayage à haute résolution, programmable et réglable pour positionner précisément le substrat sous les bobines RF. Cela permet une gravure rapide et précise des substrats avec uniformité et répétabilité. L'énergie RF fournie au substrat peut être contrôlée avec précision par une alimentation variable et peut être ajustée pour différents processus de gravure/cueillette. PM-600 dispose d'une machine de contrôle du débit de gaz qui permet un réglage précis du débit et de la pression des gaz de gravure/cueillette, permettant en outre un contrôle complet des variables de gravure et de cueillette. De plus, l'outil comprend un circuit de gaz de refroidissement pour refroidir le substrat pour une répétabilité optimale du procédé. L'actif dispose d'une interface graphique conviviale et de paramètres de processus configurables pour une flexibilité maximale et une facilité d'utilisation. MARCH PM-600 est conçu pour des applications industrielles et de recherche, et peut être utilisé dans les domaines des semi-conducteurs, de la médecine, de l'électronique et d'autres domaines connexes. Avec ses performances fiables et sa construction robuste, PM-600 est le choix idéal pour toute application de gravure/ashing.