Occasion MARCH PM-600 #9160093 à vendre en France

MARS PM-600 graveur/asher est un graveur et asher puissant et automatisé conçu pour être utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Il utilise la gravure plasma et la gravure ionique réactive (RIE) pour créer des caractéristiques précises de ratio d'aspect élevé sur les plaquettes et autres substrats. PM-600 est conçu pour la fabrication à grande échelle de dispositifs de précision, tels que des circuits intégrés et d'autres composants nanométriques. MARS PM-600 est un graveur/asher à haut débit conçu pour minimiser le temps nécessaire à la production des gravures. Il dispose d'une chambre de processus automatisée qui est scellée et fonctionne dans un environnement ultra-propre et contrôlé. La chambre de procédé a une gravure basse pression, basse température, permettant un contrôle serré de la vitesse de gravure. La chambre de procédé dispose également d'un équipement à double source, qui permet un contrôle indépendant de l'graveur et de la cible de gravure. Ce système à double source permet un contrôle fin du taux de gravure et des profils de gravure de bord d'inversion. PM-600 est équipé d'une variété de caractéristiques conçues pour faciliter le processus de gravure. Il dispose d'une unité d'imagerie en ligne haute résolution, permettant un alignement rapide et précis. Il dispose également d'un panneau de gaz universel, permettant un contrôle précis de la chimie de gravure. MARCH PM-600 est également équipé d'un moniteur de particules en temps réel et d'une capacité de profilage bidimensionnel gravure par étape qui permet un réglage dynamique de la gravure en fonction des consignes définies par l'utilisateur. PM-600 fournit les capacités de gravure conformes et de haut débit nécessaires à la production efficace de dispositifs de précision. Sa machine d'imagerie en ligne et son environnement contrôlé jouent un rôle important dans la création de caractéristiques de ratio d'aspect élevé sur les plaquettes et autres substrats. MARS PM-600 permet une variété de recettes de processus de gravure, y compris la gravure ionique, la gravure chimique et les profils de gravure par étape programmés grâce à la technologie du contrôleur numérique. Cette unité dispose également d'un panneau de gaz universel, permettant un contrôle précis de la chimie de gravure. PM-600 est conçu pour être utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs, offrant des capacités de gravure efficaces et polyvalentes pour répondre aux besoins de traitement de l'industrie des nanodévices.