Occasion MARCH PX-1000 #142222 à vendre en France

MARS PX-1000 Etcher/Asher est un équipement de gravure et de cueillette à sec moderne et avancé qui exploite la puissance du plasma pour graver et aspirer avec précision divers matériaux à divers niveaux et subtilités. Le système comprend une unité de base, une unité de commande, un contrôleur automatique d'électrodes et une chambre de gravure de quartz/cendres. MARS PX 1000 peut traiter des plaquettes et des substrats jusqu'à 6 pouces (150mm) de taille. La compatibilité des matériaux du substrat va des métaux aux céramiques, au quartz et au verre. L'unité de contrôle avancée de PX-1000 est capable d'obtenir des résultats reproductibles à chaque fois en offrant diverses recettes, ainsi que des sélections personnalisables pour couvrir les processus typiques de gravure par lots, ainsi que des activités ponctuelles, de recherche et de développement. L'entretien automatique de l'électrode est inclus, la machine compensant automatiquement l'érosion et l'usure de l'électrode au fil du temps. Le DR-1000 est capable d'obtenir des temps de traitement aussi rapides que 10 secondes par plaquette à 1016 Torr (134 mBar) et 91 Watts, avec des étapes supplémentaires pour atteindre le point final optimal. Les flux de gaz sont très réglables et comprennent jusqu'à quatre gaz de réacteur de procédé et jusqu'à trois tuyaux pour les additifs de réactif/gravure et le gaz de nettoyage. La chambre à quartz est conçue avec plusieurs fuites ultra-basses, anneaux RF avec un bouclier de rayonnement et une tête de douche PTFE réglable. La chambre est très réglable et offre de nombreuses possibilités de montage sécurisé pour les composants offrant un grand degré de flexibilité lors du traitement. PX 1000 offre le plus haut degré de précision pour un outil de gravure plasma, ce qui en fait le modèle idéal pour les activités de recherche et développement ainsi que pour les procédés de production. MARCH PX-1000 est idéal pour une variété de matériaux dont Al, Cu, alliages Cu, Fe, et SiC pour n'en nommer que quelques-uns. Il offre également la flexibilité nécessaire pour les applications gravure/cendres telles que les circuits intégrés, les dispositifs semi-conducteurs composés et les dispositifs MEMS. MARCH PX 1000 est une solution de gravure clé en main offrant une répétabilité exigeante et une excellente fiabilité à long terme.