Occasion MARCH PX-1000 #293701620 à vendre en France

MARCH PX-1000 est un équipement de graveur/asher de grande fiabilité conçu pour le traitement de grands substrats. Le système est bien adapté à la production d'écrans plats, de cellules solaires, de semi-conducteurs et de dispositifs MEMS. Le graveur/asher utilise une chambre verticale de type plaque pour le processus de gravure et de cueillette. Cela permet une gravure et un cendrage uniformes des substrats jusqu'à 514mm avec un haut degré de répétabilité. L'unité est équipée d'un maximum de quatre modules MP distincts pour fournir la flexibilité nécessaire pour plusieurs recettes de gravure et de cendres. MARCH PX 1000 offre un taux de sublimation ultra bas et une grande sélectivité de gravure pour les métaux, le silicium polycristallin et les dépôts sur silicium. La source de plasma pour la gravure et l'ashing comprend un générateur RF multifréquence d'une puissance allant jusqu'à 4kW. Une pompe turbomoléculaire est utilisée pour éliminer les gaz d'échappement et produire les particules nécessaires à l'uniformité du procédé et à de bons profils de gravure. La chambre dispose d'un choix d'étages de substrat tels que la manipulation en rotation ou linéaire d'échantillons. Une machine de chauffage de substrat dédiée est prévue pour maintenir la température du substrat jusqu'à un maximum de 250 ºC. Le chauffage du substrat est disponible en régulation de température temporelle ou sous forme de profil de zone chauffée. L'uniformité de température à l'intérieur de la chambre est de ± 3ºC ou mieux. PX-1000 peut également être personnalisé avec des fonctionnalités supplémentaires telles que le lancement d'auto-van et les systèmes de verrouillage de charge de gravure intégrés. Le PX 1000 est construit avec des pièces et des matériaux à haute stabilité thermo-mécanique et est conçu pour une installation et un entretien faciles. Des options telles que l'introduction de gaz O2 et N2 et la résistance à l'oxygène sont également disponibles. Cet outil etcher/asher est un outil de travail fiable pour les applications de production qui nécessitent des résultats de gravure et d'ashing uniformes et répétables.