Occasion MARCH PX-250 #9233379 à vendre en France
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ID: 9233379
System
Solid state: 13.56 MHz
RF Generator: 300 Watts
Internal RF matching network
Automatic tuning
Stainless steel chamber
(3) Adjustable electrodes / Shelves: 177.8 x 203.2 mm (7" x 8")
(3) Process shelves can be configured powered RF
(2) Mass flow controllers.
MARCH PX-250 est un graveur/asher de précision conçu pour des performances fiables et répétables dans des applications industrielles exigeantes. Il est construit avec une conception robuste, trois zones à mur chaud, assurant des résultats de gravure supérieurs. Le MARCH PX 250 est équipé d'un four à haute température et de quatre éléments chauffants différents par zone. Le four a une plage de température allant de l'ambiante à 1000 ° C et les éléments chauffants peuvent atteindre des températures allant jusqu'à 1100 ° C De plus, l'etcher a une vitesse de crête programmable qui permet un contrôle précis de la vitesse de chauffage. Le système de contrôle PLC intégré permet aux utilisateurs de programmer des paramètres précis pour assurer la répétabilité. PX-250 dispose également d'une caméra CCD haute résolution pour un alignement précis des substrats. La caméra peut être réglée pour un alignement pondéré par le centre ou par le bord. Le substrat est ensuite transporté sous le four à haute température pour être gravé. La pression à l'intérieur de la chambre de procédé est régulée par un régulateur de pression, assurant un environnement de gravure précis. La conception avancée de la PX 250 comprend également des systèmes intégrés de distribution de gaz de procédé avec des pressions sub-atmosphériques facultatives aussi basses que -600 millibar. Différents gaz de procédé peuvent être introduits dans la chambre de procédé à la demande pour la gravure de différents substrats. Un système d'échappement des gaz est également incorporé qui peut être utilisé pour éliminer les sous-produits dangereux de l'etcher. MARS PX-250 est conçu pour des résultats de gravure précis avec une exploration thermique faible. Sa construction robuste et ses fonctionnalités avancées intégrées le rendent idéal pour une large gamme d'applications industrielles telles que la fabrication de cellules solaires, le traitement des PCB et la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Sa précision et sa répétabilité le rendent très recherché par les fabricants de ces industries.
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