Occasion MARCH Super Plasmod #9089873 à vendre en France
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ID: 9089873
Plasma etcher
Pyrex chamber
Interior dimensions: 5.65" x 7.5"
3.2 CFM Vacuum pump
Gas channel control module
220 V, 1 Phase, 50/60 Hz.
MARS Super Plasmod est un graveur et asher qui est conçu pour offrir une gravure et un ashing précis et précis pour un large éventail d'applications. C'est un équipement de gravure et d'ashing tout-en-un, capable de fournir un temps de cycle rapide, un lieu de travail extensible, et une grande variété de recettes de processus. La zone chaude de quartz spacieuse de Super Plasmod garantit des résultats de processus cohérents avec une précision de contrôle de la température à 2 ° C près. Il dispose également d'un générateur de plasma à fréquence variable, permettant aux utilisateurs d'ajuster facilement la fréquence du plasma en fonction de l'application. MARS Le système Dual Gas Delivery de Super Plasmod fournit une variété de gaz précurseurs et de gaz inertes avec contrôle de la pression du gaz, du débit total de gaz, du débit de gaz réactionnel et du bilan gazeux pour chaque flux de processus de gravure chimique. L'unité utilise également des têtes de douche spécialement conçues pour assurer une distribution uniforme des précurseurs sur le substrat cible. La machine dispose également d'un moniteur de processus intégré, qui enregistre la pression totale de gaz, le débit total de gaz et la tension de polarisation du substrat, aidant les utilisateurs à obtenir les meilleurs résultats de gravure. Super Plasmod est également équipé d'un viseur de taille complète pour la surveillance des processus de gravure et d'ashing, ainsi que d'un double outil de vide pour réduire la contamination. Il dispose également d'un outil de nettoyage automatisé pour s'assurer que les chambres de gravure ne sont jamais exposées à l'énergie extérieure. MARCH Super Plasmod dispose de multiples mécanismes de sécurité, dont un détecteur de mouvement, un modèle de recirculation d'eau en boucle fermée et un interrupteur d'arrêt d'urgence. En outre, l'équipement dispose d'une variété de fonctionnalités conviviales telles que les instructions d'exploitation étape par étape et le fonctionnement en plusieurs langues. Pour s'assurer que les utilisateurs obtiennent des résultats cohérents à chaque fois, Super Plasmod dispose de diviseurs de paramètres réglables, permettant aux utilisateurs d'entrer et d'enregistrer différents paramètres pour différentes recettes. MARS Super Plasmod est un système de gravure et d'ashing avancé qui est idéal pour les applications industrielles et académiques. Il dispose d'un contrôle précis et précis de tous les paramètres nécessaires aux processus de gravure et d'ashing, et est équipé de dispositifs de sécurité avancés et de fonctionnalités de conception conviviales.
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