Occasion MATRIX Jaguar 300MM #9220309 à vendre en France

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Fabricant
MATRIX
Modèle
Jaguar 300MM
ID: 9220309
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2000
Front / Back end asher, 12" (2) O2 / CF4 / NH3 Resist asher chambers Foup loader and controls 2000 vintage.
MATRIX Jaguar 300MM Etcher/Asher est un équipement de pointe de gravure et de cueillette spécialement conçu pour la gravure et la cueillette de substrats à grande échelle tels que les plaquettes et les substrats à motifs. Le système est capable de produire des gravures jusqu'à un minimum de 0,6 um et de fournir des surfaces gravées uniformément sur une gamme de grands substrats entre 5 pouces et 300 millimètres de taille. L'unité offre une variété de chimies de gravure dont nitrique, hydrofluorique, phosphorique, sulfurique, et beaucoup plus. Jaguar 300MM utilise des techniques de gravure avancées telles que la gravure ionique réactive, la résonance cyclotron électronique et la gravure plasma, permettant à l'utilisateur d'adapter le processus de gravure pour une vitesse, une qualité et une localisation optimales. MATRIX Jaguar 300MM se compose de différents sous-systèmes, dont la cassette-étage, la boîte à gaz, les services d'air et de pompes, la chambre et une machine de contrôle avancée. La Cassette-Stage permet à l'utilisateur de positionner rapidement et précisément de grands substrats dans la chambre de gravure pour le traitement, et se compose d'un mécanisme de nivellement, d'une poignée de cassette et d'un outil à mandrin sous vide. L'actif Gas Box fournit des buses dosées pour l'introduction de chimistries de gravure dans la chambre, et les différentes vannes et contrôleurs permettent une précision lors de la réaction des gaz et des chimies de gravure. Les services d'air et de pompe du modèle fournissent des atmosphères inertes et non inertes dans la chambre et se composent d'une pompe à rugissement turbomoléculaire refroidie par jet d'air, d'une pompe rotative à titane et de plusieurs autres composants. L'équipement de chambre est un environnement conçu sur mesure optimisé pour les processus de gravure et de cendrage, et est composé d'un générateur de résonance cyclotron électron, un mandrin électrostatique à des fins d'anti-radar et d'alignement, et un collecteur de distribution de gaz. Le système de contrôle avancé intègre tous les sous-systèmes et fournit à l'utilisateur l'acquisition de données en temps réel du processus de gravure et permet d'optimiser les paramètres du processus. Jaguar 300MM Etcher/Asher est capable de gravure à haut débit et de cendre avec un excellent contrôle de la localisation et du processus. L'unité est conçue pour fournir d'excellents profils de gravure et une uniformité sur tout le substrat, avec des performances supérieures à celles des autres systèmes de gravure. L'intégration de technologies de pointe telles que la Cassette-Stage, la boîte à gaz et la machine de contrôle avancée, fournit à l'utilisateur une plate-forme puissante et flexible pour contrôler avec fiabilité et précision les processus de gravure et de cueillette. L'utilisation de MATRIX Jaguar 300MM Etcher/Asher fournit aux utilisateurs un outil de pointe pour la gravure et la cueillette de substrats à grande échelle.
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