Occasion MATRIX System One 105 #9098082 à vendre en France
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ID: 9098082
Taille de la plaquette: 4"-6"
Automatic photoresist stripper, 4"-6"
Microprocessor-controlled
Single wafer, single cassette
Independent control of:
Pressure
RF Power
Temperature
Gas flow
Substrate position
Includes:
600W RF water cooled generator (ENI OEM-6)
Optically isolated wafer processing environment
Patented interleaved electrode assembly
Multi-step (3 Steps + over etch) process program
Butterfly valve for more precise pressure control
Phase magnitude detector to provide real-time RF impedance matching control
(2) Mass flow controllers (TG 5 SLPM, 300 SCCM)
Closed-loop control of substrate temperature
Temperature range: 80°C to 250°C
Pin movement (Up and down).
MATRIX Equipment One 105 est un système de graveur/asher haute performance conçu pour des applications spécialisées de gravure et d'ashing plasma. L'unité est capable de fonctionner à la fois en gravure sèche et en gravure humide, ce qui permet de contrôler avec précision la profondeur et l'uniformité des gravures. La machine One 105 se compose de trois composants, dont une source d'alimentation RF, une chambre de traitement et un module de commande. La source d'énergie RF fournit jusqu'à 2.5kW de puissance au substrat, permettant une gravure profonde jusqu'à 5µm de profondeur. L'alimentation du substrat est soit directe, soit par l'intermédiaire d'un masque de joint métallique, selon l'application de gravure. Une chambre d'étanchéité assure des conditions de vide parfaites pour la gravure plasma. Le module de contrôle propriétaire de l'outil permet un contrôle précis des paramètres du processus, y compris le temps de gravure du plasma, la pression du processus, le débit total de gaz et la composition du gaz, et permet de surveiller jusqu'à quatre fumées indépendamment. De plus, une fonctionnalité d'automatisation rapide garantit des conditions de traitement optimales tout au long du processus. L'actif comprend également une pompe à vide embarquée pour une évacuation facile de la chambre, ainsi qu'un logiciel qui permet un transfert de données facile et le contrôle des paramètres. Une interface utilisateur intuitive avec un écran tactile permet aux utilisateurs novices de commencer rapidement leurs processus de gravure. MATRIX Model One 105 est conçu pour un large éventail d'applications de gravure et d'ashing, y compris les structures diélectriques monocouches, l'isolation des tranchées peu profondes, la métallisation, le MEMS et la production de circuits intégrés. Cet équipement puissant est adapté aux applications de recherche et de gravure industrielle. Il a été soigneusement testé et s'est avéré conforme aux normes de sécurité et environnementales, ce qui en fait un choix fiable pour les amateurs et les professionnels.
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